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公开(公告)号:CN102405433A
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN201080017370.6
申请日:2010-04-16
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0858
Abstract: 光学反射元件具有反射镜部、使该反射镜部振动的一对高频振子以及一对低频振子。高频振子具有基材、形成于该基材上的下部电极层、压电体层、上部电极层即驱动电极、以及第1监视电极。低频振子的一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层及驱动电极、以及上部电极层即第2监视电极。低频振子的另一方具有与高频振子共同的基材、下部电极层、压电体层、驱动电极及第1监视电极、和作为抑制压电体层的压电作用影响第1监视电极的不灵敏带的绝缘体层。设置于低频振子上的第1监视电极从低频振子之上连接到引出电极。
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公开(公告)号:CN1234505A
公开(公告)日:1999-11-10
申请号:CN99106339.2
申请日:1999-05-06
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 日本电波工业株式会社
IPC: G01P9/04
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一个整体式双层结构的角速度传感器,由在厚度方向上直接焊接两个音叉件而成,目的是增强角速度传感器的探测敏感度。各音叉件用诸如石英等单晶体压电材料制作,沿晶体轴向焊接以形成压电现象,其中,焊接的音叉件的压电材料在横或厚方向上极性相反。
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公开(公告)号:CN101790840B
公开(公告)日:2013-03-20
申请号:CN200880104648.6
申请日:2008-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/0086 , B81B2201/038 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G03B21/00 , H01L41/042 , H01L41/0953 , H01L41/0966 , H04N9/3129
Abstract: 本发明具有下述的构成:由第一振动部(7)与第二振动部(9)构成,所述第一振动部(7)具备具有第一驱动电极(18)的第一压电元件,所述第二振动部(9)具有与第一振动部(7)不同的中心轴,具备具有第二驱动电极(18)的第二压电元件,并且第一驱动电极(18)以及第二驱动电极(18)共有连接。由此,驱动电极(18)的配线电极数量减少,引回变得容易,结果能够提高生产效率。
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公开(公告)号:CN101790840A
公开(公告)日:2010-07-28
申请号:CN200880104648.6
申请日:2008-08-20
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , B81B3/0086 , B81B2201/038 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G03B21/00 , H01L41/042 , H01L41/0953 , H01L41/0966 , H04N9/3129
Abstract: 本发明具有下述的构成:由第一振动部(7)与第二振动部(9)构成,所述第一振动部(7)具备具有第一驱动电极(18)的第一压电元件,所述第二振动部(9)具有与第一振动部(7)不同的中心轴,具备具有第二驱动电极(18)的第二压电元件,并且第一驱动电极(18)以及第二驱动电极(18)共有连接。由此,驱动电极(18)的配线电极数量减少,引回变得容易,结果能够提高生产效率。
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公开(公告)号:CN102405432A
公开(公告)日:2012-04-04
申请号:CN201080017214.X
申请日:2010-05-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0833 , G02B27/01 , G02B27/017 , G02B2027/0147
Abstract: 光学反射元件包括框状的支承体、曲折形状的第1振动器及第2振动器和反射镜部。将反射镜部与第1振动器相连结的连结位置和支承体与第1振动器相连结的连结位置连接起来的线段,以及将反射镜部与第2振动器相连结的连结位置和支承体与第2振动器相连结的连结位置连接起来的线段,与反射镜部中心轴线交叉。并且,第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿反射镜部的第1边的第1端部轴线偏离。或者第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿与反射镜部的第1边平行的第2边的第2端部轴线(T2)偏离。满足这2个条件中的至少任意一个。
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公开(公告)号:CN1926434A
公开(公告)日:2007-03-07
申请号:CN200580006749.6
申请日:2005-02-14
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/09 , G01P15/097 , G01P15/18 , G01P2015/084
Abstract: 本发明涉及振动型压电加速度传感器,其包括以下元件:成直线地对向配置于框架的一组振动膜;支承该振动膜的支承体;保持该支承体于直线方向自由滑动的保持部;以及与所述一组振动膜正交的另一组振动膜成直线地对向配置,并检测X、Y方向两轴的加速度,由此结构,由于通过保持部传送至支承体的加速度,振动膜发生伸缩且固有振动频率发生改变,从而可检测加速度并得到较高的共振频率的变化率,且可不受温度变化的影响而检测两轴加速度。
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公开(公告)号:CN1136454C
公开(公告)日:2004-01-28
申请号:CN99106339.2
申请日:1999-05-06
Applicant: 松下电器产业株式会社 , 日本电波工业株式会社
IPC: G01P9/04
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 一个整体式双层结构的角速度传感器,由在厚度方向上直接焊接两个音叉件而成,目的是增强角速度传感器的探测敏感度。各音叉件用诸如石英等单晶体压电材料制作,沿晶体轴向焊接以形成压电现象,其中,焊接的音叉件的压电材料在横或厚方向上极性相反。
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公开(公告)号:CN102405432B
公开(公告)日:2014-04-23
申请号:CN201080017214.X
申请日:2010-05-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B26/0833 , G02B27/01 , G02B27/017 , G02B2027/0147
Abstract: 光学反射元件包括框状的支承体、曲折形状的第1振动器及第2振动器和反射镜部。将反射镜部与第1振动器相连结的连结位置和支承体与第1振动器相连结的连结位置连接起来的线段,以及将反射镜部与第2振动器相连结的连结位置和支承体与第2振动器相连结的连结位置连接起来的线段,与反射镜部中心轴线交叉。并且,第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿反射镜部的第1边的第1端部轴线偏离。或者第1振动器和第2振动器的转弯部的至少任意1个的外周自与反射镜部中心轴线平行且沿与反射镜部的第1边平行的第2边的第2端部轴线(T2)偏离。满足这2个条件中的至少任意一个。
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公开(公告)号:CN101360968A
公开(公告)日:2009-02-04
申请号:CN200780001605.0
申请日:2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件,检测元件具有第1正交臂和支承部,第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结,支承部支承第1臂。而且,第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力,也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号:CN103278147B
公开(公告)日:2015-11-04
申请号:CN201310162684.0
申请日:2007-01-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01C19/5607 , G01C19/5642 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC classification number: G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
Abstract: 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件,检测元件具有第1正交臂和支承部,第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结,支承部支承第1臂。而且,第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力,也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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