公开(公告)号：CN102939648B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201180027087.6

申请日：2011-05-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 置田尚吾 ,  大西康博

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/677 ,  H05H1/46

CPC classification number: B44C1/227 ,  H01J37/32779 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  H05H2001/4675 ,  Y10S438/973

Abstract: 等离子处理装置(1)具备贮存部(2)、处理部(5)、校准室(4)。贮存部(2)供给并回收在多个收容孔(7a)内分别收容有晶片(W)的可搬运的托盘(7)。处理室(5)对在从贮存部(2)供给的托盘(7)收容的晶片(W)执行等离子处理。校准室(4)具备载置等离子处理前的托盘(7)的旋转工作台(41)，并进行该旋转工作台(41)上的晶片(W)的定位。控制装置(6)的收容状态判断部(6b)使用由高度检测传感器(44A～44D)检测出的高度来判断晶片(W)是否相对于托盘(7)的收容孔(7a)产生错位。

公开(公告)号：CN102939648A

公开(公告)日：2013-02-20

申请号：CN201180027087.6

申请日：2011-05-25

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 置田尚吾 ,  大西康博

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/677 ,  H05H1/46

CPC classification number: B44C1/227 ,  H01J37/32779 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67742 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/681 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68742 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771 ,  H05H2001/4675 ,  Y10S438/973

Abstract: 等离子处理装置(1)具备贮存部(2)、处理部(5)、校准室(4)。贮存部(2)供给并回收在多个收容孔(7a)内分别收容有晶片(W)的可搬运的托盘(7)。处理室(5)对在从贮存部(2)供给的托盘(7)收容的晶片(W)执行等离子处理。校准室(4)具备载置等离子处理前的托盘(7)的旋转工作台(41)，并进行该旋转工作台(41)上的晶片(W)的定位。控制装置(6)的收容状态判断部(6b)使用由高度检测传感器(44A～44D)检测出的高度来判断晶片(W)是否相对于托盘(7)的收容孔(7a)产生错位。