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公开(公告)号：CN106227003A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610861011.8
申请日：2016-09-29
Applicant: 杭州格林达化学有限公司
IPC: G03F7/32
CPC classification number: G03F7/322
Abstract: 本发明涉及一种显影液，重量百分比组成如下：有机碱：0.01-60％，非离子表面活性剂：0.01-10％，两性表面活性剂：0.01-15％，有机溶剂：1-10％，余量为水。本发明应用有机强碱显影液，对光刻胶的渗透性好，显影速率快，金属含量为ppb级别，从而消除了金属离子杂质对TFT晶体管的不利影响；添加非离子表面活性剂及两性离子表面活性剂等，不仅兼顾了消泡性、分散稳定性，而且克服了现有技术显影液膜渣残留及操作温度范围窄的缺点；添加了水溶性有机溶剂，大大提高了显影使用时的持久性。该显影液在拥有优异的显影性能的同时，还具有低泡沫、对彩色光阻具有良好的分散稳定性，有效降低膜渣的形成，显影性能好，无残渣，操作温度范围宽等特点。
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公开(公告)号：CN203429266U
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201320462139.9
申请日：2013-07-30
Applicant: 杭州格林达化学有限公司
Abstract: 一种电子级四甲基氢氧化铵生产装置，所述生产装置包括阴离子树脂塔、阳离子树脂塔、电解槽和过滤器，所述阴离子树脂塔的入口为四甲基碳酸盐进料口，所述阴离子树脂塔的出口与所述阳离子树脂塔的入口连通，所述阳离子树脂塔的出口与所述电解槽的入口连通，所述电解槽的出口与出料管的一端连接，所述出料管上安装过滤器，所述出料管的另一端与电子级四甲基氢氧化铵产品储罐连接。本实用新型提供了一种结构简单、有效消除阴离子超标问题、可连续生产的电子级四甲基氢氧化铵生产装置。
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公开(公告)号：CN203429003U
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201320463994.1
申请日：2013-07-30
Applicant: 杭州格林达化学有限公司
IPC: C02F9/04 , C07C211/63 , C07C209/84 , C02F1/42
Abstract: 一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置，包括废液槽、过滤装置和阳离子交换树脂塔，所述废液槽包括用于引入显影废液的第一进口、用以引入二氧化碳气体的第二进口，所述废液槽的出口与过滤装置的入口连通所述过滤装置包括光刻胶沉淀出口和液体出口，所述过滤装置的液体出口与所述阳离子交换树脂塔的进口连通，所述阳离子交换树脂塔的顶部设有供再生液放入的加料口，所述阳离子交换树脂塔出口与三通阀的进口连接，所述三通阀的第一出口为碱液出口，所述三通阀的第二出口为四甲基氢氧化铵出料口。本实用新型降低成本、减少污染。
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公开(公告)号：CN203429267U
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201320464008.4
申请日：2013-07-30
Applicant: 杭州格林达化学有限公司
Abstract: 一种四甲基氢氧化铵回收再利用装置，包括废液槽、第一过滤装置、储液槽、第二过滤装置、浓缩装置和含离子膜的电解装置，废液槽包括用于引入显影废液的第一进口、用以引入二氧化碳气体的第二进口，废液槽的出口与第一过滤装置的入口连通第一过滤装置包括光刻胶沉淀出口和液体出口，第一过滤装置的液体出口与储液槽的进口连通，储液槽的顶部设有供吸附剂放入的加料口，储液槽的出口与第二过滤装置的入口连通，第二过滤装置包括吸附剂出口和液体出口，第二过滤装置的液体出口与浓缩装置的入口连通，浓缩装置的出口与含离子膜的电解装置的入口连通，含离子膜的电解装置的出口为四甲基氢氧化铵出料口。本实用新型降低成本、减少污染。
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