公开(公告)号：CN106227003A

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201610861011.8

申请日：2016-09-29

Applicant: 杭州格林达化学有限公司

Inventor： 李盈盈 ,  邢攸美 ,  王海龙 ,  洪明卫 ,  尹云舰 ,  王小眉 ,  于晓芳

IPC: G03F7/32

CPC classification number: G03F7/322

Abstract: 本发明涉及一种显影液，重量百分比组成如下：有机碱：0.01-60％，非离子表面活性剂：0.01-10％，两性表面活性剂：0.01-15％，有机溶剂：1-10％，余量为水。本发明应用有机强碱显影液，对光刻胶的渗透性好，显影速率快，金属含量为ppb级别，从而消除了金属离子杂质对TFT晶体管的不利影响；添加非离子表面活性剂及两性离子表面活性剂等，不仅兼顾了消泡性、分散稳定性，而且克服了现有技术显影液膜渣残留及操作温度范围窄的缺点；添加了水溶性有机溶剂，大大提高了显影使用时的持久性。该显影液在拥有优异的显影性能的同时，还具有低泡沫、对彩色光阻具有良好的分散稳定性，有效降低膜渣的形成，显影性能好，无残渣，操作温度范围宽等特点。