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公开(公告)号：CN101903986B
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN200880122186.0
申请日：2008-12-12
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 本发明的实施方式提供使用清洁材料清洁具有细微特征的图案化衬底的装置。使用该清洁材料的该装置有清洁具有细微特征的图案化衬底，同时又基本上不损害该特征的优点。该清洁材料是流体，是液相或液/气相的；并围绕器件特征变形；因此，该清洁材料基本上不损害该器件特征或减小全部的损害。包含具有大分子量的聚合化合物的聚合物的该清洁材料捕获该衬底上的污染物。另外，该清洁材料截留该污染物并且不使该污染物返回该衬底表面。具有大分子量的一个或多个聚合化合物的聚合物形成长聚合物链，长聚合物链也可以交叉链接已形成网络(或聚合网络)。与传统清洁材料相比，该长聚合物链和/或聚合物网络显示出更好的捕获和截留污染物的能力。
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公开(公告)号：CN102396050B
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN200880122176.7
申请日：2008-12-14
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 向衬底表面施加清洁流体。该清洁流体包括用于截留该衬底表面上存在的污染物的聚合材料。以受控速度向该衬底表面施加冲洗流体以从该衬底表面去除该清洁材料和该清洁材料中截留的污染物。该冲洗流体的该受控速度被设置为使该清洁流体在被该冲洗流体冲击时以弹性方式运行，从而改善从该衬底表面的污染物除去。
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公开(公告)号：CN101903987B
公开(公告)日：2012-02-29
申请号：CN200880122187.5
申请日：2008-12-12
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 本发明的实施例提供用于清洁具有精细特征的图案化的基片的方法。该用于清洁图案化基片的方法的优点在于通过使用所描述的清洁材料来清洁具有精细特征的图案化的基片而基本上不损伤该特征。该清洁材料是流体，或者是液相，或着液/气相，并在器件特征附近变形；所以，该清洁材料基本上不损伤该器件特征或降低总共的损伤。包含由大分子量的聚合化合物组成的聚合物的该清洁材料捕获该基片上的污染物。另外，该清洁材料截留该污染物和不会将该污染物返回到该基片表面上。一种或多种大分子量的聚合化合物组成的该聚合物形成长聚合链，其还可以交联以形成网状物(或聚合网状物)。该长聚合物链和/或聚合网状物相比传统的清洁材料表现出更好的捕获和截留污染物能力。
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公开(公告)号：CN101903987A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880122187.5
申请日：2008-12-12
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 本发明的实施例提供用于清洁具有精细特征的图案化的基片的方法。该用于清洁图案化基片的方法的优点在于通过使用所描述的清洁材料来清洁具有精细特征的图案化的基片而基本上不损伤该特征。该清洁材料是流体，或者是液相，或着液/气相，并在器件特征附近变形；所以，该清洁材料基本上不损伤该器件特征或降低总共的损伤。包含由大分子量的聚合化合物组成的聚合物的该清洁材料捕获该基片上的污染物。另外，该清洁材料截留该污染物和不会将该污染物返回到该基片表面上。一种或多种大分子量的聚合化合物组成的该聚合物形成长聚合链，其还可以交联以形成网状物(或聚合网状物)。该长聚合物链和/或聚合网状物相比传统的清洁材料表现出更好的捕获和截留污染物能力。
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公开(公告)号：CN101903986A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880122186.0
申请日：2008-12-12
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 本发明的实施方式提供使用清洁材料清洁具有细微特征的图案化衬底的装置。使用该清洁材料的该装置有清洁具有细微特征的图案化衬底，同时又基本上不损害该特征的优点。该清洁材料是流体，是液相或液/气相的；并围绕器件特征变形；因此，该清洁材料基本上不损害该器件特征或减小全部的损害。包含具有大分子量的聚合化合物的聚合物的该清洁材料捕获该衬底上的污染物。另外，该清洁材料截留该污染物并且不使该污染物返回该衬底表面。具有大分子量的一个或多个聚合化合物的聚合物形成长聚合物链，长聚合物链也可以交叉链接已形成网络(或聚合网络)。与传统清洁材料相比，该长聚合物链和/或聚合物网络显示出更好的捕获和截留污染物的能力。
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公开(公告)号：CN101903985B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200880122180.3
申请日：2008-12-12
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 本发明的实施例提供改进的材料，用以清洁具有精细特征的图案化的基片。该清洁材料的优点在于清洁具有精细特征的图案化的基片而基本上不损伤该特征。该清洁材料是流体，或者是液相，或着液/气相，并在器件特征附近变形；所以，该清洁材料基本上不损伤该器件特征或降低总共的损伤。包含由大分子量的聚合化合物组成的聚合物的该清洁材料捕获该基片上的污染物。另外，该清洁材料截留该污染物和不会将该污染物返回到该基片表面上。一种或多种大分子量的聚合化合物组成的该聚合物形成长聚合物链，其还可以交联以形成网状物(或聚合网状物)。该长聚合物链和/或聚合物网状物相比传统的清洁材料表现出更好的捕获和截留污染物能力。
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公开(公告)号：CN102396050A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200880122176.7
申请日：2008-12-14
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 向衬底表面施加清洁流体。该清洁流体包括用于截留该衬底表面上存在的污染物的聚合材料。以受控速度向该衬底表面施加冲洗流体以从该衬底表面去除该清洁材料和该清洁材料中截留的污染物。该冲洗流体的该受控速度被设置为使该清洁流体在被该冲洗流体冲击时以弹性方式运行，从而改善从该衬底表面的污染物除去。
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公开(公告)号：CN101903985A
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200880122180.3
申请日：2008-12-12
申请人： 朗姆研究公司
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/304
CPC分类号： C11D7/5009 , C11D3/3723 , C11D3/3765 , C11D3/3773 , C11D7/261 , C11D7/3263 , C11D7/34 , C11D11/0047 , H01L21/02057 , H01L21/67051 , Y10S134/902
摘要： 本发明的实施例提供改进的材料，用以清洁具有精细特征的图案化的基片。该清洁材料的优点在于清洁具有精细特征的图案化的基片而基本上不损伤该特征。该清洁材料是流体，或者是液相，或着液/气相，并在器件特征附近变形；所以，该清洁材料基本上不损伤该器件特征或降低总共的损伤。包含由大分子量的聚合化合物组成的聚合物的该清洁材料捕获该基片上的污染物。另外，该清洁材料截留该污染物和不会将该污染物返回到该基片表面上。一种或多种大分子量的聚合化合物组成的该聚合物形成长聚合物链，其还可以交联以形成网状物(或聚合网状物)。该长聚合物链和/或聚合物网状物相比传统的清洁材料表现出更好的捕获和截留污染物能力。
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