公开(公告)号：CN115917039A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202180043625.4

申请日：2021-07-21

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  伊斯瓦·斯里尼瓦桑 ,  埃里卡·萨库拉·斯特兰德贝尔格·波尔 ,  安德鲁·波尔斯 ,  阿列克谢·V·阿尔特科

IPC: C23C16/448

Abstract: 本公开部分涉及用于控制在气体混合物内的组分的浓度。在特定实施方案中，该组分是汽化液体组分，例如汽化稳定剂或汽化前体。还描述了其系统及用于这种控制的方法。

公开(公告)号：CN118215531A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202280074776.0

申请日：2022-11-01

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 阿列克谢·V·阿尔特科 ,  安德鲁·波尔斯 ,  埃里卡·萨库拉·斯特兰德贝尔格·波尔 ,  郑志荣

IPC: B01D3/32 ,  B01D1/30 ,  H01L21/67

Abstract: 气体分离器包含第一蒸馏室和蒸发室。第一液体阀包含与第一蒸馏室流体连通的入口以及与蒸发室流体连通的出口。冷却器被配置成将第一蒸馏室冷却至第一温度、且将蒸发室冷却至不同于第一温度的第二温度。气体分离器以第一模式运作，在第一模式期间，气体混合物由第一蒸馏室接收、气体混合物被分离成第一冷凝液体和第一分离气体混合物、且分离的气体由第一蒸馏室输出。在第二模式期间，第一液体阀将第一冷凝液体转移至蒸发室，而第一蒸馏室并未接收气体混合物且并未供给第一分离气体混合物。

公开(公告)号：CN117858748A

公开(公告)日：2024-04-09

申请号：CN202280057713.4

申请日：2022-08-17

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 阿列克谢·V·阿尔特科 ,  安德鲁·波尔斯 ,  郑志荣

IPC: B01D53/00 ,  C23C16/44

Abstract: 气体分离器设备包括第一室和第一出口，第一室包括用于接收包括第一气体和第二气体的气体混合物的第一入口。第一和第二珀耳帖设备安装到第一室以将第一室冷却到第一温度。第二室连接到第一室并包括第二出口。第三和第四珀耳帖设备分别安装到第一和第二珀耳帖设备以及第二室以将第二室冷却到第二温度。珀耳帖设备被配置为冷凝第一室中的气体混合物中的第二气体并经由第一出口输出第一气体。珀耳帖设备被配置成将从第一室接收的冷凝的第二气体在第二室中转化为第二气体并且经由第二出口输出第二气体。

公开(公告)号：CN115835937A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202180040911.5

申请日：2021-06-24

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 阿列克谢·V·阿尔特科

IPC: B23P15/14 ,  C23C16/455

Abstract: 提供了一种对准设备，以经对准配置将两个部件拉接在一起。示例性对准设备包括行星齿轮组和一个或更多侧板，该行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮，而该一个或更多侧板用于支撑齿轮。两个行星齿轮中的每一者包括孔口，该孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，该螺纹紧固件用于与各自螺纹杆接合，而该各自螺纹杆与该两个部件中的一者接合，其中该环形齿轮的转动将转动动作传递至螺纹紧固件，以使该对准设备沿着两个螺纹杆同步前进。

公开(公告)号：CN114730731A

公开(公告)日：2022-07-08

申请号：CN202080081187.6

申请日：2020-10-28

Applicant: 朗姆研究公司

Inventor： 阿列克谢·V·阿尔特科 ,  安德鲁·H·布伦宁格

IPC: H01L21/687

Abstract: 第一升降销座组件包含基座部分以及主干部分，该主干部分包含球锁机构以保持升降销。第二升降销座组件包含基座部分和主干部分，该主干部分包含叉锁机构以保持升降销。有着硬币槽型槽部的开槽环布置于衬底支撑组件的基座上。使用围绕该升降销座组件的该基座部分的保持器，多个所述第一或第二升降销座组件被保持在所述槽部中。每一槽部包含孔口，T形保持器插入其中。该T形保持器的顶部分防止该保持器和升降销座组件滑出该槽部。该升降销、升降销座组件、保持器、T形保持器以及开槽环由陶瓷材料制成。