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公开(公告)号：CN104561903A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410520985.0
申请日：2014-09-30
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种提高蒸镀材料的利用效率的真空蒸镀装置用岐管。该真空蒸镀装置用岐管是联机式真空蒸镀装置用岐管，在单一岐管(11)的与基板(12)相对的基板对置面(11a)上设置有喷嘴列(14F、14R)，上述喷嘴列(14F、14R)沿基板(12)的宽度方向隔开规定的喷嘴间距(P)突出设置多个具有喷嘴口的喷出用喷嘴(13)，并且将喷嘴列(14F、14R)在基板(12)的移动方向上隔开规定的喷嘴列间隔(Lp)进行配置，基板(12)移动方向后方的喷嘴列(14R)的喷出用喷嘴(13)与基板(12)移动方向前方的喷嘴列(14F)的喷出用喷嘴(13)在基板(12)的移动方向上相对配置。
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公开(公告)号：CN100558929C
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200580014651.5
申请日：2005-06-15
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/246
Abstract: 一种在规定的真空度下使规定的材料蒸发的蒸发装置(4)，包括：连接到真空泵(12)上，同时，在上壁部(11c)上设置能够放出蒸发的蒸发材料(B)的材料放出孔的蒸发用容器(11)；借助升降用气缸装置(13)可以在该蒸发容器(11)内自由升降地设置、同时能够载置容纳蒸镀材料(A)的材料容纳容器(14)的载置台(15)；在上述蒸发用容器(14)的材料放出孔(17)的周围，设置筒状的间隔壁构件(19)，所述间隔壁构件(19)，通过上述材料容纳容器(14)经由载置台(15)上升时覆盖其外周，抑制蒸发材料向所述蒸发用容器(11)内放出，并且，在上述载置台(15)及间隔壁构件(16)上，具有加热上述材料容纳容器(14)的加热装置(21)。
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公开(公告)号：CN112746243A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202011083536.6
申请日：2020-10-12
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置的控制方法。真空蒸镀装置(1)的控制方法包括：打开量调整工序，对调整蒸镀材料的释放量的第一调整阀(21)和第二调整阀(31)的打开量进行调整；以及压力检测工序，取得蒸镀材料的释放压力的检测值，在打开量调整工序中，在第一调整阀(21)和第二调整阀(31)的双方打开的情况下，使用膜厚检测器对膜厚的检测值来调整打开量，在仅任意一方打开的情况下，使用释放压力的检测值来调整打开量。
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公开(公告)号：CN102051580A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010254950.9
申请日：2010-08-12
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置以及蒸镀方法。在使用向下沉积方法进行蒸镀时，能避免自掩模落下的粒子附着在蒸镀于基板的成膜面上的膜上。蒸镀装置(1)在蒸镀用容器(2)内使被蒸镀源加热了的材料蒸发到被以成膜面(3a)朝上的方式保持的基板(3)上而进行成膜。其包括：固定配置于蒸镀用容器(2)内的上述排出用容器(14)下方的掩模保持台(9)；载置基板，设置为能相对于掩模保持台(9)所保持的掩模(11)接近或远离地移动的基板支架(6)。在使上述基板支架移动到接近掩模(11)而将材料蒸镀到基板的成膜面上时，在掩模与基板之间设置间隙。在成膜完成后的基板更换时，粒子不会自掩模落下而能够防止粒子附着在蒸镀于基板上的膜上。
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公开(公告)号：CN103361607B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310092816.7
申请日：2013-03-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103924195A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201310721942.4
申请日：2013-12-24
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置，在真空下对基板（K）进行蒸镀，其包括：多个坩埚（2），分别使蒸镀材料（A）蒸发而成为蒸发材料；阀（51），与上述坩埚（2）的下游侧连接；扩散容器（21），从上述阀（51）通过导入管（11）导入蒸发材料并使导入的蒸发材料扩散；以及多个喷嘴（25），将在所述扩散容器的内部（22）扩散的蒸发材料朝向基板（K）释放，其中，全部的所述导入管（11）不具有分路部，蒸镀速率为0.1～10/sec，扩散容器的内部空间厚度（D）为1m以下且喷嘴间最大距离（L）为5m以下，并且扩散容器的内部空间厚度（D）与喷嘴间最大距离（L）的关系，满足规定的公式（1）～（3）中的任意一个。
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公开(公告)号：CN104561903B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201410520985.0
申请日：2014-09-30
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种提高蒸镀材料的利用效率的真空蒸镀装置用岐管。该真空蒸镀装置用岐管是联机式真空蒸镀装置用岐管，在单一岐管(11)的与基板(12)相对的基板对置面(11a)上设置有喷嘴列(14F、14R)，上述喷嘴列(14F、14R)沿基板(12)的宽度方向隔开规定的喷嘴间距(P)突出设置多个具有喷嘴口的喷出用喷嘴(13)，并且将喷嘴列(14F、14R)在基板(12)的移动方向上隔开规定的喷嘴列间隔(Lp)进行配置，基板(12)移动方向后方的喷嘴列(14R)的喷出用喷嘴(13)与基板(12)移动方向前方的喷嘴列(14F)的喷出用喷嘴(13)在基板(12)的移动方向上相对配置。
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公开(公告)号：CN103361608B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201310095050.8
申请日：2013-03-22
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置，在规定的蒸镀速率所必要的坩埚（22）的最小限温度下进行蒸镀，当坩埚（22）内的蒸镀材料（24）减少、来自坩埚（22）的蒸镀材料（24）的蒸发量（从坩埚（22）供给的蒸发粒子的形成）减少而导致蒸镀速率降低，为了维持规定的蒸镀速率而使流量控制阀（19）的开度急剧变大的情况下，使坩埚（22）的目标加热温度以增量上升。其结果，来自坩埚（22）的蒸镀材料（24）的蒸发量增加，维持了规定的蒸镀速率。通过使目标温度依次以增量上升，不仅能防止蒸镀材料（24）的热劣化且可以将蒸镀材料（24）使用到最后，并可以将蒸镀材料（24）的残留降到最低值。
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公开(公告)号：CN103361607A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310092816.7
申请日：2013-03-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。
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公开(公告)号：CN103305797A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310070826.0
申请日：2013-03-06
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/544
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置。在所述蒸镀装置中，在将蒸发粒子向玻璃基板（12）引导的材料输送管（17）上，设置有用于调节流路的开度的流量控制阀（18），在比流量控制阀（18）靠向下游侧的材料输送管（17）内设有第一压力传感器（21），在真空室（11）内设有第二压力传感器（22）。控制器（24）利用上述两台压力传感器（21、22）测量出的压力（P1、P2）的压力差（P1-P2）求出蒸发粒子的流量，从而测量蒸发粒子向玻璃基板（12）的蒸镀速率。并且控制器（24）利用流量控制阀（18）调节材料输送管（17）的开度，以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。
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