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公开(公告)号:CN104561903B
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201410520985.0
申请日:2014-09-30
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种提高蒸镀材料的利用效率的真空蒸镀装置用岐管。该真空蒸镀装置用岐管是联机式真空蒸镀装置用岐管,在单一岐管(11)的与基板(12)相对的基板对置面(11a)上设置有喷嘴列(14F、14R),上述喷嘴列(14F、14R)沿基板(12)的宽度方向隔开规定的喷嘴间距(P)突出设置多个具有喷嘴口的喷出用喷嘴(13),并且将喷嘴列(14F、14R)在基板(12)的移动方向上隔开规定的喷嘴列间隔(Lp)进行配置,基板(12)移动方向后方的喷嘴列(14R)的喷出用喷嘴(13)与基板(12)移动方向前方的喷嘴列(14F)的喷出用喷嘴(13)在基板(12)的移动方向上相对配置。
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公开(公告)号:CN104561903A
公开(公告)日:2015-04-29
申请号:CN201410520985.0
申请日:2014-09-30
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
CPC classification number: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种提高蒸镀材料的利用效率的真空蒸镀装置用岐管。该真空蒸镀装置用岐管是联机式真空蒸镀装置用岐管,在单一岐管(11)的与基板(12)相对的基板对置面(11a)上设置有喷嘴列(14F、14R),上述喷嘴列(14F、14R)沿基板(12)的宽度方向隔开规定的喷嘴间距(P)突出设置多个具有喷嘴口的喷出用喷嘴(13),并且将喷嘴列(14F、14R)在基板(12)的移动方向上隔开规定的喷嘴列间隔(Lp)进行配置,基板(12)移动方向后方的喷嘴列(14R)的喷出用喷嘴(13)与基板(12)移动方向前方的喷嘴列(14F)的喷出用喷嘴(13)在基板(12)的移动方向上相对配置。
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