公开(公告)号：CN102325739B

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201080008541.9

申请日：2010-02-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 相原靖文 ,  杉本博哉 ,  田中俊介 ,  大场教磨 ,  和气隼也

IPC: C04B37/02 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B32B15/04 ,  C04B35/6269 ,  C04B35/63424 ,  C04B37/028 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/346 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/402 ,  C04B2237/525 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  Y10T279/23 ,  Y10T428/31678

Abstract: 首先，准备板(22)、冷却板(28)和丙烯树脂制的两面粘着性的接合片(32)。接着，将接合片(32)贴付到冷却板(28)的上表面。接着，将贴付有接合片(32)的冷却板(28)放置于真空干燥机内，将干燥机内压力减压至2000Pa以下，以此状态进行预焙处理。预焙处理在120～130℃下进行15～40小时，之后在真空中进行自然冷却。预焙处理之后，进行层叠使得贴付于冷却板(28)的接合片(32)的上表面与板(22)的下表面一致，并在放入耐热树脂包袋中，之后放入压热器，在加压加热条件下进行数小时的处理，获得静电卡盘(20)。

公开(公告)号：CN102325739A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN201080008541.9

申请日：2010-02-19

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 相原靖文 ,  杉本博哉 ,  田中俊介 ,  大场教磨 ,  和气隼也

IPC: C04B37/02 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B32B15/04 ,  C04B35/6269 ,  C04B35/63424 ,  C04B37/028 ,  C04B2235/656 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/6581 ,  C04B2237/343 ,  C04B2237/346 ,  C04B2237/365 ,  C04B2237/366 ,  C04B2237/402 ,  C04B2237/525 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  Y10T279/23 ,  Y10T428/31678

Abstract: 首先，准备板(22)、冷却板(28)和丙烯树脂制的两面粘着性的接合片(32)。接着，将接合片(32)贴付到冷却板(28)的上表面。接着，将贴付有接合片(32)的冷却板(28)放置于真空干燥机内，将干燥机内压力减压至2000Pa以下，以此状态进行预焙处理。预焙处理在120～130℃下进行15～40小时，之后在真空中进行自然冷却。预焙处理之后，进行层叠使得贴付于冷却板(28)的接合片(32)的上表面与板(22)的下表面一致，并在放入耐热树脂包袋中，之后放入压热器，在加压加热条件下进行数小时的处理，获得静电卡盘(20)。