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公开(公告)号：CN117219484A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310370217.0
申请日：2023-04-10
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供晶片载放台，课题在于，防止附带有外螺纹的连接部件的外螺纹相对于附带有内螺纹的端子的内螺纹而松弛。晶片载放台具备：陶瓷基材(20)、植入部件(32)、附带有内螺纹的端子(40)、转接器(50)以及附带有外螺纹的连接部件(60)。陶瓷基材内置有加热器电极(22)。植入部件具有导电性，且与加热器电极电连接。附带有内螺纹的端子是与植入部件电连接且在突出部(41)的端面具有内螺纹(42)的导电性端子。转接器具有导电性，安装于突出部的端面，且具有与内螺纹连通的连通部(52b)，相对于附带有内螺纹的端子不能旋转。附带有外螺纹的连接部件具有导电性，且具有经由连通部(52b)而旋合于内螺纹的外螺纹(62)，并与转接器一体化。
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公开(公告)号：CN114388400B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202111198426.9
申请日：2021-10-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H05B3/02 , H05B3/22
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、电源侧的第一及第二安装孔(61、62)以及方向转换部件(50)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。方向转换部件(50)将第一供电部件(31)以从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持，并将第二供电部件(32)以从第二安装孔(62)向第二端子孔(24a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持。
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公开(公告)号：CN114375074A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202111203612.7
申请日：2021-10-15
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。
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公开(公告)号：CN110753995B
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN201980003019.2
申请日：2019-03-20
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供静电卡盘加热器，是约翰逊‑拉别克型，用于在晶片上形成导电膜。该静电卡盘加热器具备：具有静电电极和电阻发热体的圆板状的陶瓷基体；和安装于陶瓷基体的与晶片载置面相反一侧的面的中空轴。最外周突起组由在晶片载置面中的外径比晶片的直径小的环状区域内沿陶瓷基体的同心圆排列的多个突起构成。圆周槽设于最外周突起组的内侧。贯通孔设置为从中空轴的周壁的下端贯通至晶片载置面中的圆周槽的内侧的区域。能够从中空轴的下端经由贯通孔向由晶片载置面和最外周突起组以及载置于晶片载置面的晶片包围的晶片下方空间供给气体。
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公开(公告)号：CN111448647B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201980006368.X
申请日：2019-02-19
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 静电卡盘加热器是约翰生‑拉别克型，用于在晶片上形成导电膜。该静电卡盘加热器具有圆板状的陶瓷基体，其具备静电电极和电阻发热体；以及中空轴，其安装于陶瓷基体的与晶片载置面相反侧的面上。凸状环设置在晶片载置面，其外径比晶片的直径小。贯通孔设置为从中空轴的周壁下端贯通至晶片载置面中的凸状环的内侧。贯通孔能够从中空轴的下端向由晶片载置面、凸状环和载置在晶片载置面上的晶片包围的晶片下方空间供给气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110800096B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201880043581.3
申请日：2018-10-16
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供一种静电卡盘(10)，其具有在圆板状的陶瓷板(12)埋设有静电电极(16)的构造，并利用约翰森‑拉别克力吸附载置于陶瓷板(12)且直径比陶瓷板(12)的直径小的晶片(W)。该静电卡盘(10)在陶瓷板(12)的表面中的从陶瓷板(12)的外周缘至载置于陶瓷板(12)的晶片(W)的外周缘的内侧为止的环状区域具有电阻比陶瓷板(12)的电阻大的绝缘膜(14)。
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公开(公告)号：CN114375074B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111203612.7
申请日：2021-10-15
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。
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公开(公告)号：CN114388400A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111198426.9
申请日：2021-10-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H05B3/02 , H05B3/22
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、电源侧的第一及第二安装孔(61、62)以及方向转换部件(50)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。方向转换部件(50)将第一供电部件(31)以从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持，并将第二供电部件(32)以从第二安装孔(62)向第二端子孔(24a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持。
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公开(公告)号：CN109478531A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201880002838.0
申请日：2018-05-25
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供晶片用基座。对于绝缘管(30)而言，绝缘管(30)的抵接面(34a)与冷却板(20)的制动面(27a)抵碰。由此，阻止绝缘管(30)继续向螺孔(26)进入，绝缘管(30)的环状突起部(33)的前端面(33a)定位在不与板(12)接触的预定位置，并且O型圈(40)在绝缘管(30)的阶梯差面(32a)与平板(12)的下表面之间被加压而变形预定量。
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公开(公告)号：CN109478531B
公开(公告)日：2023-03-17
申请号：CN201880002838.0
申请日：2018-05-25
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明提供晶片用基座。对于绝缘管(30)而言，绝缘管(30)的抵接面(34a)与冷却板(20)的制动面(27a)抵碰。由此，阻止绝缘管(30)继续向螺孔(26)进入，绝缘管(30)的环状突起部(33)的前端面(33a)定位在不与板(12)接触的预定位置，并且O型圈(40)在绝缘管(30)的阶梯差面(32a)与平板(12)的下表面之间被加压而变形预定量。
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