公开(公告)号：CN113207200B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202110146194.6

申请日：2021-02-02

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 常川大介 ,  本山修一郎

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/26 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供陶瓷加热器及热电偶引导件。陶瓷加热器(10)具备：具有晶片载置面(20a)的圆盘状的陶瓷板(20)；一端接合在陶瓷板(20)中与晶片载置面(20a)相反侧的背面(20b)的筒状轴(40)；为陶瓷板(20)的背面(20b)中的筒状轴(40)的内侧的轴内区域(20d)；从轴内区域(20d)的外周部的起点(S)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(E)的长孔(26)；以及以外周侧热电偶(50)的前端进入长孔(26)的起点(S)的方式进行引导的热电偶引导件。热电偶引导件(32)中，从筒状轴(40)的下端到长孔(26)的起点(S)为止的部分设置成沿着筒状轴(40)的内壁的形状。

公开(公告)号：CN117219484A

公开(公告)日：2023-12-12

申请号：CN202310370217.0

申请日：2023-04-10

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 渡边玲雄 ,  常川大介 ,  渡边宽人

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/687

Abstract: 本发明提供晶片载放台，课题在于，防止附带有外螺纹的连接部件的外螺纹相对于附带有内螺纹的端子的内螺纹而松弛。晶片载放台具备：陶瓷基材(20)、植入部件(32)、附带有内螺纹的端子(40)、转接器(50)以及附带有外螺纹的连接部件(60)。陶瓷基材内置有加热器电极(22)。植入部件具有导电性，且与加热器电极电连接。附带有内螺纹的端子是与植入部件电连接且在突出部(41)的端面具有内螺纹(42)的导电性端子。转接器具有导电性，安装于突出部的端面，且具有与内螺纹连通的连通部(52b)，相对于附带有内螺纹的端子不能旋转。附带有外螺纹的连接部件具有导电性，且具有经由连通部(52b)而旋合于内螺纹的外螺纹(62)，并与转接器一体化。

公开(公告)号：CN113207200A

公开(公告)日：2021-08-03

申请号：CN202110146194.6

申请日：2021-02-02

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 常川大介 ,  本山修一郎

IPC: H05B3/02 ,  H05B3/26 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明提供陶瓷加热器及热电偶引导件。陶瓷加热器(10)具备：具有晶片载置面(20a)的圆盘状的陶瓷板(20)；一端接合在陶瓷板(20)中与晶片载置面(20a)相反侧的背面(20b)的筒状轴(40)；为陶瓷板(20)的背面(20b)中的筒状轴(40)的内侧的轴内区域(20d)；从轴内区域(20d)的外周部的起点(S)到达陶瓷板(20)的外周部的末端位置(E)的长孔(26)；以及以外周侧热电偶(50)的前端进入长孔(26)的起点(S)的方式进行引导的热电偶引导件。热电偶引导件(32)中，从筒状轴(40)的下端到长孔(26)的起点(S)为止的部分设置成沿着筒状轴(40)的内壁的形状。