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公开(公告)号：CN117219484A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202310370217.0
申请日：2023-04-10
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01J37/32 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供晶片载放台，课题在于，防止附带有外螺纹的连接部件的外螺纹相对于附带有内螺纹的端子的内螺纹而松弛。晶片载放台具备：陶瓷基材(20)、植入部件(32)、附带有内螺纹的端子(40)、转接器(50)以及附带有外螺纹的连接部件(60)。陶瓷基材内置有加热器电极(22)。植入部件具有导电性，且与加热器电极电连接。附带有内螺纹的端子是与植入部件电连接且在突出部(41)的端面具有内螺纹(42)的导电性端子。转接器具有导电性，安装于突出部的端面，且具有与内螺纹连通的连通部(52b)，相对于附带有内螺纹的端子不能旋转。附带有外螺纹的连接部件具有导电性，且具有经由连通部(52b)而旋合于内螺纹的外螺纹(62)，并与转接器一体化。
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