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公开(公告)号：CN114388400B
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202111198426.9
申请日：2021-10-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H05B3/02 , H05B3/22
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、电源侧的第一及第二安装孔(61、62)以及方向转换部件(50)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。方向转换部件(50)将第一供电部件(31)以从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持，并将第二供电部件(32)以从第二安装孔(62)向第二端子孔(24a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114375074A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202111203612.7
申请日：2021-10-15
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。
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公开(公告)号：CN113574652B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202080021416.5
申请日：2020-03-04
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 静电卡盘(2)具备：具有晶片载置面(4a)的陶瓷制的板(4)；在厚度方向上贯通板(4)的顶针孔(10、20、30)；用于产生静电力的正负一对电极(正极(6)和负极(8))。板(4)具有假想地分割为顶针孔的数量的分割区域(A1、A2、A3)。正极(6)和负极(8)在每个分割区域具有以从接近顶针孔的正极起点和负极起点分别出发并遍及整个分割区域的方式并列地设置的正负一对涡旋状电极部(16、18、26、28、36、38)。正极(6)是将各分割区域的正的涡旋状电极部(16、26、36)在板(4)的外周部连结而成的，负极(8)是将各分割区域的负的涡旋状电极部(18、28、38)在板(4)的中央部连结而成的。
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公开(公告)号：CN113574652A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080021416.5
申请日：2020-03-04
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/683
Abstract: 静电卡盘(2)具备：具有晶片载置面(4a)的陶瓷制的板(4)；在厚度方向上贯通板(4)的顶针孔(10、20、30)；用于产生静电力的正负一对电极(正极(6)和负极(8))。板(4)具有假想地分割为顶针孔的数量的分割区域(A1、A2、A3)。正极(6)和负极(8)在每个分割区域具有以从接近顶针孔的正极起点和负极起点分别出发并遍及整个分割区域的方式并列地设置的正负一对涡旋状电极部(16、18、26、28、36、38)。正极(6)是将各分割区域的正的涡旋状电极部(16、26、36)在板(4)的外周部连结而成的，负极(8)是将各分割区域的负的涡旋状电极部(18、28、38)在板(4)的中央部连结而成的。
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公开(公告)号：CN114375074B
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202111203612.7
申请日：2021-10-15
Applicant: 日本碍子株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、以及电源侧的第一及第二安装孔(61、62)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。第一供电部件(31)具备使第一供电部件(31)从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行方向转换的金属构件(31a)。第二供电部件(32)也是同样的。
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公开(公告)号：CN114388400A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111198426.9
申请日：2021-10-14
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/687 , H05B3/02 , H05B3/22
Abstract: 本发明提供一种能够防止供电部件从位于板侧安装位置的端子脱落的晶片载置台。陶瓷加热器(10)具备陶瓷板(20)、电极(第一及第二加热器电极(21、22))、第一及第二供电部件(31、32)、板侧的第一及第二端子孔(23a、24a)、电源侧的第一及第二安装孔(61、62)以及方向转换部件(50)。第一及第二安装孔(61、62)在俯视时与第一及第二端子孔(23a、24a)偏离。方向转换部件(50)将第一供电部件(31)以从第一安装孔(61)向第一端子孔(23a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持，并将第二供电部件(32)以从第二安装孔(62)向第二端子孔(24a)强制地进行了方向转换的姿势进行保持。
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