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公开(公告)号：CN101322035B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200680045233.7
申请日：2006-12-04
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07378
Abstract: 本发明的目的在于提供一种无论具有配线图案的基板有无变形，都可提高平面度和平行度的各精度的探针卡。为了实现该目的，本发明的探针卡具有：多个探针，其由导电性材料所构成，用于接触半导体晶片而进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持多个探针；基板，其具有与产生检查用信号的电路结构相对应的配线图案；加强构件，其安装在基板上以加强基板；中继件，其叠层在基板上以中继基板的配线；空间转换件，其叠层在中继件和探针头之间，用以转换由中继件所中继的配线的间隔从而露出于与探针头相对侧的表面；以及多个第一柱构件，其从基板的表面即叠层有中继件的部分的表面来贯穿该基板而埋设，且具有比基板的板厚还大的高度。
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公开(公告)号：CN101341412A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200680045544.3
申请日：2006-12-04
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07371
Abstract: 本发明提供一种探针卡，能够可靠地进行基板与空间转换器的电连接，且可容易以低成本进行维修。本探针卡具备：多个探针，其与半导体晶片接触而进行电信号的输入或者输出；对所述多个探针进行收容保持的探针头；具有与生成检测用信号的电路结构相对应的配线图案的基板；安装在所述基板上对所述基板进行加强的加强构件；插入件，其具有在轴线方向上伸缩自如的多个连接端子以及形成有将所述多个连接端子分别进行收容的多个孔部的壳体，该插入件层叠在所述基板上，且将所述基板的配线进行转接；以及空间转换器，其层叠在所述插入件和所述探针头之间，变换由所述插入件转接的配线的间隔，并表露在与所述探针头侧相对的一侧的表面。
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公开(公告)号：CN101322035A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200680045233.7
申请日：2006-12-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07378
Abstract: 本发明的目的在于提供一种无论具有配线图案的基板有无变形，都可提高平面度和平行度的各精度的探针卡。为了实现该目的，本发明的探针卡具有：多个探针，其由导电性材料所构成，用于接触半导体晶片而进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持多个探针；基板，其具有与产生检查用信号的电路结构相对应的配线图案；加强构件，其安装在基板上以加强基板；中继件，其叠层在基板上以中继基板的配线；空间转换件，其叠层在中继件和探针头之间，用以转换由中继件所中继的配线的间隔从而露出于与探针头相对侧的表面；以及多个第一柱构件，其从基板的表面即叠层有中继件的部分的表面来贯穿该基板而埋设，且具有比基板的板厚还大的高度。
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公开(公告)号：CN101341412B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200680045544.3
申请日：2006-12-04
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/07371
Abstract: 本发明提供一种探针卡，能够可靠地进行基板与空间转换器的电连接，且可容易以低成本进行维修。本探针卡具备：多个探针，其与半导体晶片接触而进行电信号的输入或者输出；对所述多个探针进行收容保持的探针头；具有与生成检测用信号的电路结构相对应的配线图案的基板；安装在所述基板上对所述基板进行加强的加强构件；插入件，其具有在轴线方向上伸缩自如的多个连接端子以及形成有将所述多个连接端子分别进行收容的多个孔部的壳体，该插入件层叠在所述基板上，且将所述基板的配线进行转接；以及空间转换器，其层叠在所述插入件和所述探针头之间，变换由所述插入件转接的配线的间隔，并表露在与所述探针头侧相对的一侧的表面。
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公开(公告)号：CN101496156A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200780028610.0
申请日：2007-07-26
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/07307
Abstract: 本发明提供一种即使探针板的安装基准面和作为检查对象的晶片的表面失去平行度，也能够使该探针板保持的探针相对于晶片同样地进行接触的探针板的平行度调整机构。为了该目的，设有构成倾斜度变更机构的至少一部分的调整螺钉(22)，所述倾斜度变更机构用于对保持多个探针(1)的探针板(101)相对于晶片(31)的平行度进行调整，从而变更探针板(101)相对于安装探针板(101)的探测器(201)的安装基准面(S1)的倾斜度，所述探针(1)将作为检查对象的晶片(31)和生成检查用的信号的电路构造之间电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101346633A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200680049212.2
申请日：2006-12-20
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07378 , G01R1/44 , G01R31/2863 , G01R31/2874
Abstract: 提供一种探针卡，该探针卡无论检查时的温度环境如何，都能可靠地使探针与接触对象接触。为了达到上述目的，采用下述结构，包括：多个探针，由导电性材料构成，与所述半导体晶片具有的电极焊盘接触，以进行电信号的输入或输出；探针头，其收容并保持所述多个探针；基板，其具有与所述电路结构对应的布线图案；和间隔变换器，其层叠于所述探针头，改变所述基板具有的所述布线图案的间隔并进行中继，具有对应于该中继后的布线并设置在与所述探针头相对向一侧的表面上的电极焊盘，所述探针的两端，在具有检查所述半导体晶片时的最低温度和最高温度的平均温度的环境下，与所述半导体晶片以及所述间隔变换器分别具有的所述电极焊盘的中央部附近接触。
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公开(公告)号：CN101467051B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200780021141.X
申请日：2007-06-04
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/06722 , G01R1/07378
Abstract: 本发明提供一种能够容易且低成本地实现空间变换器刚性的提高的探针卡。为实现该目的，其具备：平板状的配线基板(11)，其具有与生成检查用的信号的电路构造对应的配线图案；插入件(13)，其层叠于配线基板(11)，并对配线基板(11)的配线进行连接；空间变换器(14)，其层叠于插入件(11)并由粘接剂(19)固接，变换由插入件(13)连接的配线的间隔，并将该配线向与插入件(13)对置的一侧的相反侧的表面露出；探针头(15)，其层叠于空间变换器(14)，并收容保持多个探针。
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公开(公告)号：CN101496156B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200780028610.0
申请日：2007-07-26
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R31/2891 , G01R1/07307
Abstract: 本发明提供一种即使探针板的安装基准面和作为检查对象的晶片的表面失去平行度，也能够使该探针板保持的探针相对于晶片同样地进行接触的探针板的平行度调整机构。为了该目的，设有构成倾斜度变更机构的至少一部分的调整螺钉(22)，所述倾斜度变更机构用于对保持多个探针(1)的探针板(101)相对于晶片(31)的平行度进行调整，从而变更探针板(101)相对于安装探针板(101)的探测器(201)的安装基准面(S1)的倾斜度，所述探针(1)将作为检查对象的晶片(31)和生成检查用的信号的电路构造之间电连接。
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公开(公告)号：CN100387993C
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：CN03808534.8
申请日：2003-04-16
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/0466 , G01R1/0483
Abstract: 一种由臂支承的支架，其包括金属加强构件和填充在形成在该加强构件中的开口内的塑料支架孔形成构件。在支架孔形成构件中形成多个支架孔，并且将螺旋弹簧和导电探针构件安装在各个支架孔中，以由此提供具有两个可动端部的探头。因为支架基本上由金属构件制成，所以与完全由塑料材料构成的支架相比可以提高该支架的机械强度。因此，探头支架不会由于因测试(在高温条件下进行的测试)的温度变化和残余应力引起的老化而导致尺寸发生变化，从而可以避免支架孔的间距发生变化，并且可以确保高精度。因此，该探头使得能够以可靠的方式长时间进行测试。
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公开(公告)号：CN1898572B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200480038845.4
申请日：2004-11-11
Applicant: 日本发条株式会社
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/06722 , G01R3/00 , G01R31/2863
Abstract: 一种导电性触头保持器，保持导电性触头保持器(1)的支持体(4)具有叠层了具有比被接触体(8)的线膨胀系数低的线膨胀系数的低热膨胀支持框体(15、18)以及具有比被接触体(8)的线膨胀系数高的线膨胀系数的高热膨胀支持框体(16、17)的结构。通过采用这样的叠层构造，可以使被接触体(8)的线膨胀系数、和支持体(4)整体的线膨胀系数近似，从而即使在高温下也可以抑制在导电性触头(2)与外部连接用端子(9)之间产生位置偏离。
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