粘合片
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113150706A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN202011459875.X

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明的课题在于提供有助于提高剥离后的表面的洁净性的粘合片。可提供一种粘合片,其包含构成粘合面的粘合剂层,利用下式算出的清洁度为20%以上。清洁度=1‑(B/A),此处,上述式中的B为将粘合片从SiN晶片进行水剥离后的该SiN晶片的表面的碳量B[原子%]。上述式中的A为贴附上述粘合片之前的上述SiN晶片的表面的碳量A[原子%]。

    粘合片
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113150706B

    公开(公告)日:2024-08-16

    申请号:CN202011459875.X

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明的课题在于提供有助于提高剥离后的表面的洁净性的粘合片。可提供一种粘合片,其包含构成粘合面的粘合剂层,利用下式算出的清洁度为20%以上。清洁度=1‑(B/A),此处,上述式中的B为将粘合片从SiN晶片进行水剥离后的该SiN晶片的表面的碳量B[原子%]。上述式中的A为贴附上述粘合片之前的上述SiN晶片的表面的碳量A[原子%]。

    晶片加工用粘合片
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112980345A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202011463463.3

    申请日:2020-12-11

    Abstract: 本发明的课题在于提供能抑制剥离时的粘滑现象的晶片加工用粘合片。通过本申请,可提供包含构成粘合面的粘合剂层的晶片加工用粘合片。对于上述粘合片而言,使用将该粘合片的上述粘合面贴附于作为被粘物的硅晶片而制作的评价用样品,利用规定的方法测定的粘滑度[10‑3N/10mm]为30以下。

    背面研磨带
    7.
    发明公开
    背面研磨带 审中-公开

    公开(公告)号:CN118813163A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410472524.4

    申请日:2024-04-19

    Abstract: 提供能兼顾优异的凹凸的埋入性和切割性的背面研磨带。本发明的实施方式的背面研磨带具备基材、中间层和粘合剂层,该中间层的纳米压痕硬度(25℃)为0.001MPa~0.200MPa。该粘合剂层的纳米压痕硬度(25℃)为0.001MPa~0.080MPa,该中间层及该粘合剂层中的至少一者的厚度为50μm以上,该厚度为50μm以上的层的卸载曲线位移量为8000μm以下。

    背面研磨带
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111716242B

    公开(公告)日:2024-07-05

    申请号:CN202010182172.0

    申请日:2020-03-16

    Inventor: 河野广希

    Abstract: 本发明涉及背面研磨带。提供一种耐热性优异并且即使在高真空和高温工艺中也可以适宜地使用的背面研磨带。背面研磨带包括:基材;和在所述基材的一面上形成的压敏粘合剂层。基材的弯曲刚性为0.2N·mm2以上,在400nm波长下的透光率为10%以上,并且构成基材的树脂的熔点为200℃以上。

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