公开(公告)号：CN117537709A

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN202311376847.5

申请日：2023-10-23

Applicant: 拓荆科技股份有限公司

Inventor： 张晨 ,  关帅

IPC: G01B11/00 ,  H01L21/67 ,  H01L21/68 ,  C23C16/52 ,  G01B11/26 ,  G01B11/02 ,  G01S17/06 ,  G01S17/08

Abstract: 本发明公开了一种托盘位置的检测装置、调节系统和检测方法。托盘位置的检测装置包括：第一水平工装，设置于托盘的上方，包括多个光学传感器，多个光学传感器分布于第一水平工装上对应于托盘的边缘上方的位置，用以向托盘的方向发出探测光线；以及控制器，连接托盘和所述多个光学传感器，用以根据探测光线的返回信号的光学特性，检测托盘的中心偏移程度，以及根据返回信号的返回时间，检测托盘的水平面倾斜程度。上述托盘位置的检测装置能够避免传统检测方法中由于工装的公差尺寸和加工误差等因素所导致的对托盘位置的检测精度的影响，获得更精确的托盘位置的检测结果，有利于后续对于托盘位置的精确调节，提高托盘的调节效率和精密性。

公开(公告)号：CN221596382U

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN202322861841.9

申请日：2023-10-23

Applicant: 拓荆科技股份有限公司

Inventor： 张晨 ,  关帅

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/52 ,  C23C16/458

Abstract: 本实用新型公开了一种托盘位置的显示系统、调节系统和薄膜沉积装置。显示系统包括：支撑结构，设置于盖板的上方，包括若干个图像采集装置，其中，所述图像采集装置经由所述盖板上的观察窗，获取所述观察窗下方的晶圆托盘与边缘环之间的边缘图像，所述边缘图像指示所述晶圆托盘到所述边缘环的相对位置；以及显示装置，连接所述若干个图像采集装置，用以放大显示所述边缘图像。通过上述托盘位置的显示系统，能够清晰地显示晶圆托盘在反应腔内的位置，从而有利于后续对晶圆托盘进行精确的位置调节，提高晶圆托盘的位置调节效率和精密性。