一种辐照条件下电迁移现象测试装置及测试方法

    公开(公告)号:CN117074918A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311077992.3

    申请日:2023-08-25

    Applicant: 扬州大学

    Abstract: 本发明公开了一种辐照条件下电迁移现象测试装置及测试方法,所述测试装置包括测试板,所述测试板包括芯片、设在芯片下方或下方的基板,以及焊接在芯片和基板之间的焊球组;辐射源,所述辐射源相对于测试板垂直布置,所述辐射源直接照射在测试板的焊球上;恒流源,所述恒流源与测试板连接并形成通电回路,所述测试板的焊球组中的位于两个端点的焊球处于上述通电回路中,作为电迁移现象的观测点,中间焊球处于通电回路之外,作为未通电的环境参考点。本发明可以对同一样品进行多次测试,可对样品的微观组织形貌进行观测。本发明方法为三维封装互连技术在航天领域的应用提供了重要的技术保障,能够提高互连结构在空间环境下的可靠性。

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