公开(公告)号：CN102054648B

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201010240684.4

申请日：2010-07-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 萨姆尔·班纳 ,  瓦伦丁·N·托多罗夫 ,  肯尼思·S·柯林斯 ,  安德鲁·阮 ,  马丁·杰夫·萨利纳斯 ,  陈志刚 ,  安库尔·阿加瓦尔 ,  阿尼茹达·帕 ,  王泽江

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32165 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H01J37/32174

Abstract: 本发明提供双模电感耦合等离子体反应器及所述双模电感耦合等离子体反应器的使用方法。在一些实施方式中，双模电感耦合等离子体处理系统可包括处理腔室，该处理腔室具有介质盖和设置在该介质盖上方的等离子体源组件。该等离子体源组件包括多个线圈，该线圈配置为将RF能量感应耦合至处理腔室以在所述处理腔室中形成并维持等离子体，用于调整施加给该多个线圈中每个线圈的RF电流的相对相的相控制器，以及耦合至该相控制器和该多个线圈的RF产生器。

公开(公告)号：CN306961539S

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202130375279.2

申请日：2021-06-17

Applicant: 应用材料公司

Designer： 耀鸿·杨 ,  埃里克·鲁兰 ,  索拉布·M·乔达里 ,  迪-业·吴 ,  菲利普·韦恩·纳格尔 ,  阿尼茹达·帕 ,  苏希尔·R·冈德哈勒卡尔 ,  锡亚马克·萨利米安 ,  斯科特·林 ,  陈文森

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件（以假想线绘制）的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。
6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分，并且不构成所要求保护的设计的部分。