公开(公告)号：CN116420218A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202180065288.9

申请日：2021-10-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 帕万库马尔·拉马南德·哈拉帕霍利 ,  甘加达尔·希拉瓦特 ,  苏希尔·R·冈德哈勒卡尔

IPC: H01L21/67

Abstract: 本文提供了在处理腔室中使用的基板支撑件的多个实施例。在一些实施例中，一种在处理腔室中使用的基板支撑件包括：加热板，具有用于支撑基板的上表面和与上表面相对的下表面，其中加热板包含具有第一导热系数的第一材料，并且其中加热板的侧壁和加热板的下表面用包含第二材料的覆盖板覆盖，该第二材料具有小于第一导热系数的第二导热系数；中空轴，耦接至该加热板，其中该中空轴包含具有第三导热系数的第三材料，该第三导热系数小于第一导热系数；和一个或多个加热元件，设置在该加热板中。

公开(公告)号：CN115836377A

公开(公告)日：2023-03-21

申请号：CN202180046810.9

申请日：2021-07-06

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 杨燿宏 ,  沙塔努·拉吉夫·加吉尔 ,  唐加普·拉莫德·古尔贾尔 ,  苏希尔·R·冈德哈勒卡尔

IPC: H01J37/32

Abstract: 本案提供了用于在处理腔室中使用的喷头的实施方式和减少喷头面板下垂的方法。在一些实施方式中，一种用于在处理腔室中使用的喷头包括：面板，该面板具有穿过该面板设置的多个气体分配孔；和一个或多个缆线，该一个或多个缆线与面板接合且被构造为用以对该面板施加预应力。

公开(公告)号：CN306961539S

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202130375279.2

申请日：2021-06-17

Applicant: 应用材料公司

Designer： 耀鸿·杨 ,  埃里克·鲁兰 ,  索拉布·M·乔达里 ,  迪-业·吴 ,  菲利普·韦恩·纳格尔 ,  阿尼茹达·帕 ,  苏希尔·R·冈德哈勒卡尔 ,  锡亚马克·萨利米安 ,  斯科特·林 ,  陈文森

Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件（以假想线绘制）的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。
6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分，并且不构成所要求保护的设计的部分。