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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN103828035B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201280046491.2
申请日：2012-10-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: C23C16/4586 , C23C16/505 , F16C29/02 , H01L21/68742
Abstract: 本发明大体而言提供一种用于支撑处理腔室内的基板的轴衬组件。在一个方面中，轴衬组件包含管状主体，所述管状主体具有外周长及延伸穿过所述外周长的孔；具有第一内边缘的第一环，所述第一环安置在管状主体的上部分中的孔中；及具有第二内边缘的第二环，所述第二环安置在管状主体的下部分中的孔中。在另一方面中，第一内边缘具有第一曲率半径，且第二内边缘具有第二曲率半径。在另一方面中，第一内边缘直径、第二内边缘直径、第一曲率半径及第二曲率半径经选择以使得延伸穿过孔的支撑销在最多两个点上接触轴衬组件。
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公开(公告)号：CN103828035A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280046491.2
申请日：2012-10-01
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: C23C16/4586 , C23C16/505 , F16C29/02 , H01L21/68742
Abstract: 本发明大体而言提供一种用于支撑处理腔室内的基板的轴衬组件。在一个方面中，轴衬组件包含管状主体，所述管状主体具有外周长及延伸穿过所述外周长的孔；具有第一内边缘的第一环，所述第一环安置在管状主体的上部分中的孔中；及具有第二内边缘的第二环，所述第二环安置在管状主体的下部分中的孔中。在另一方面中，第一内边缘具有第一曲率半径，且第二内边缘具有第二曲率半径。在另一方面中，第一内边缘直径、第二内边缘直径、第一曲率半径及第二曲率半径经选择以使得延伸穿过孔的支撑销在最多两个点上接触轴衬组件。
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公开(公告)号：CN306961539S
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202130375279.2
申请日：2021-06-17
Applicant: 应用材料公司
Designer： 耀鸿·杨 , 埃里克·鲁兰 , 索拉布·M·乔达里 , 迪-业·吴 , 菲利普·韦恩·纳格尔 , 阿尼茹达·帕 , 苏希尔·R·冈德哈勒卡尔 , 锡亚马克·萨利米安 , 斯科特·林 , 陈文森
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作用于气相沉积腔室中喷头与水箱组件的密封件。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
5.使用状态参考图是在喷头与水箱组件（以假想线绘制）的一部分中示出的密封件的使用状态参考图。
6、使用状态参考图中具有“‑ ‑ ‑”配置的虚线和假想线图示密封件和/或喷头与水箱组件的不要求保护的部分，并且不构成所要求保护的设计的部分。
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