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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118871742A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202380027792.9
申请日：2023-03-15
Applicant: 应用材料公司
Abstract: 一种方法包括：由处理设备，从处理腔室的光学传感器接收第一数据。所述方法进一步包括：处理所述第一数据以获得第二数据。所述第二数据包括对所述处理腔室的内表面上的涂层的条件的指示。所述方法进一步包括：根据所述第二数据产生对所述处理腔室的处理操作的性能的指示。所述方法进一步包括：根据对所述处理腔室的性能的所述指示导致改正动作的执行。
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公开(公告)号：CN118922926A9
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202380027752.4
申请日：2023-03-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 杰弗里·叶山·奥 , 乔舒亚·托马斯·马勒 , 瓦鲁扬·查卡里安 , 西德哈斯·巴提亚 , 帕特里克·泰克 , 祝昭钊 , 布莱克·W·埃里克森
Abstract: 一种方法包括：由处理设备，接收表明与第一处理腔室对应的壁的状态的第一传感器数据。所述第一传感器数据包括光学光谱数据。所述方法进一步包括：由所述处理设备，基于所述第一传感器数据确定第一值。所述第一值与沿着所述壁的表面设置的产物在第一时间的第一量对应。所述方法进一步包括：由所述处理设备，基于所述第一值确定对与所述第一处理腔室相关联的第一工艺操作的第一更新。所述方法进一步包括：由所述处理设备，执行以下一项或多项(i)准备表明所述第一更新的通知以在图形用户接口(GUI)上呈现，或(ii)导致依据所述第一更新执行所述第一工艺操作。
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公开(公告)号：CN118922926A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202380027752.4
申请日：2023-03-15
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 杰弗里·叶山·奥 , 乔舒亚·托马斯·马勒 , 瓦鲁扬·查卡里安 , 西德哈斯·巴提亚 , 帕特里克·泰克 , 祝昭钊 , 布莱克·W·埃里克森
Abstract: 一种方法包括：由处理设备，接收表明与第一处理腔室对应的壁的状态的第一传感器数据。所述第一传感器数据包括光学光谱数据。所述方法进一步包括：由所述处理设备，基于所述第一传感器数据确定第一值。所述第一值与沿着所述壁的表面设置的产物在第一时间的第一量对应。所述方法进一步包括：由所述处理设备，基于所述第一值确定对与所述第一处理腔室相关联的第一工艺操作的第一更新。所述方法进一步包括：由所述处理设备，执行以下一项或多项(i)准备表明所述第一更新的通知以在图形用户接口(GUI)上呈现，或(ii)导致依据所述第一更新执行所述第一工艺操作。
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公开(公告)号：CN117545874A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202280044989.9
申请日：2022-06-28
Applicant: 应用材料公司
IPC: C23C16/448
Abstract: 浓度传感器组件可包含具有化合物的汽化腔室。浓度传感器组件可包括耦接至汽化腔室的第一流路。第一流路可将第一气体引导至汽化腔室。第二流路可将第二气体引导出汽化腔室。第二气体可包含化合物和第一气体。沿第一流路设置第一传感器。第一传感器测量第一数据，该第一数据指示第一气体的第一质量流率。沿第二流路设置第二传感器。第二传感器测量第二数据，该第二数据指示第二气体的第二质量流率。计算装置可基于第一数据和第二数据确定第二气体中的可汽化物质的浓度。
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公开(公告)号：CN114929931A
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202180008904.7
申请日：2021-09-13
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 王晓东 , 迈克尔·查尔斯·库特尼 , 瓦鲁扬·查卡里安 , 雷建新 , 汪荣军
Abstract: 原位监测挡盘上的沉积的方法及设备。在一些实施方式中，设备可包括：处理腔室，具有内部处理空间；外壳，设置在内部处理空间外部，其中外壳在挡盘不在内部处理空间中使用时接纳挡盘；挡盘臂，从外壳到内部处理空间来回移动挡盘；和至少一个传感器，整合到外壳中。至少一个传感器被构造成用以确定在内部处理空间中粘涂处理之后沉积在挡盘上的材料的至少一种膜性质。
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