公开(公告)号：CN113383405A

公开(公告)日：2021-09-10

申请号：CN202080012490.0

申请日：2020-01-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 刚·格兰特·彭 ,  大卫·W·格罗歇尔 ,  王涵

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/3065

Abstract: 本揭示内容的一个示例提供一种制造具有涂层且具有所需的膜性质的腔室元件的方法，所述涂层包括含钇材料。在一个示例中，制造涂层材料的方法包括提供包含含铝材料的基础结构。所述方法进一步包括在基础结构上形成包括含钇材料的涂层。所述方法亦包括热处理涂层，以形成经处理的涂层。

公开(公告)号：CN113383405B

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202080012490.0

申请日：2020-01-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 刚·格兰特·彭 ,  大卫·W·格罗歇尔 ,  王涵

IPC: H01J37/32 ,  H01L21/3065

Abstract: 本揭示内容的一个示例提供一种制造具有涂层且具有所需的膜性质的腔室元件的方法，所述涂层包括含钇材料。在一个示例中，制造涂层材料的方法包括提供包含含铝材料的基础结构。所述方法进一步包括在基础结构上形成包括含钇材料的涂层。所述方法亦包括热处理涂层，以形成经处理的涂层。

公开(公告)号：CN114830312A

公开(公告)日：2022-07-29

申请号：CN202080086799.4

申请日：2020-12-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 大卫·W·格罗歇尔 ,  迈克尔·R·赖斯 ,  刚·格兰特·彭 ,  程睿 ,  黄祖滨 ,  王涵 ,  卡希克·贾纳基拉曼 ,  迪瓦卡尔·科德拉雅 ,  保罗·L·布里尔哈特 ,  阿卜杜勒·阿齐兹·卡哈

IPC: H01L21/67 ,  C23C16/44 ,  H01J37/32

Abstract: 本文提供用于腔室部件(腔室部件用于在工艺腔室中使用，腔室部件诸如表面成形的或纹理化的腔室部件)的表面成形和纹理化的方法和装置，和使用所述腔室部件的方法。在某些实施方式中，方法包括使用一个或多个传感器测量参考基板或被加热的基座的参数；和基于所测量的参数物理地修改腔室部件的表面。