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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109414813B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN201780039926.3
申请日：2017-06-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 格雷戈里·J·弗里曼 , 马文·L·弗雷曼 , 亚当·克兰默
Abstract: 描述了校正机器人(例如双叶式机器人)中的叶片的位置未对准的方法。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：机器人，包括：可移动臂和附接至所述可移动臂中的一者的终端受动器；标志，设置在所述可移动臂中的一者上或所述终端受动器上；腔室，适于受所述终端受动器服务；束传感器，定位在自所述腔室的某个距离处；和校正所述终端受动器的未对准，其中所述未对准发生在初始线性中心找寻位置和所述腔室的估算的中心之间。还公开了进行此类电子设备校准的系统。提供了许多其他的方面。
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公开(公告)号：CN109414813A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201780039926.3
申请日：2017-06-09
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 格雷戈里·J·弗里曼 , 马文·L·弗雷曼 , 亚当·克兰默
Abstract: 描述了校正机器人(例如双叶式机器人)中的叶片的位置未对准的方法。在一个或多个实施方式中，所述方法包括：机器人，包括：可移动臂和附接至所述可移动臂中的一者的终端受动器；标志，设置在所述可移动臂中的一者上或所述终端受动器上；腔室，适于受所述终端受动器服务；束传感器，定位在自所述腔室的某个距离处；和校正所述终端受动器的未对准，其中所述未对准发生在初始线性中心找寻位置和所述腔室的估算的中心之间。还公开了进行此类电子设备校准的系统。提供了许多其他的方面。
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公开(公告)号：CN118525184A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202280088482.3
申请日：2022-11-18
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 帕特丽夏·舒尔茨 , 格雷戈里·J·弗里曼 , 迈克尔·库特尼 , 阿伦库马尔·拉马查德拉亚 , 卓志忠 , 祝昭钊 , 奥兹坎·塞利克
IPC: G01B11/06 , G01B11/02 , G01B11/03 , H01L21/66 , H01L21/687 , H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 一种装置包括：基板固持器；第一致动器，用于旋转该基板固持器；第二致动器，用于线性地移动该基板固持器；第一传感器，用于产生该基板的一个或多个第一测量或影像；第二传感器，用于产生对该基板上的目标位置的一个或多个第二测量；以及处理设备。该处理设备估计该基板在该基板固持器上的位置，并致使该第一致动器使该基板固持器围绕第一轴线旋转。该旋转会由于该基板没有在该基板固持器上居中，导致该第二传感器的视野与该基板上的目标位置之间出现偏移。该处理设备致使该第二致动器使该基板固持器沿着第二轴线线性地移动，以改正该偏移。该处理设备基于对这些目标位置的该一个或多个第二测量，确定横跨该基板的表面的轮廓。
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公开(公告)号：CN112243484B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN201980038104.2
申请日：2019-06-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 奥兹坎·塞利克 , 帕特丽夏·A·舒尔茨 , 格雷戈里·J·弗里曼 , 保罗·Z·沃思 , 托马索·维尔切斯
Abstract: 深度测量设备包括：(1)相机和镜头组件，该相机和镜头组件捕捉包括多个深度级别的目标的图像序列的图像数据；(2)运动台，相机和镜头组件或目标定位在该运动台上；(3)马达，该马达连接到运动台，该马达在定义的增量值处引起相机和镜头组件与目标之间的相对移动；(4)位置传感器，该位置传感器在定义的增量值中的每一个处捕捉相机和镜头组件或目标上的位置数据；及(5)控制器，该控制器使用图像梯度方法和最佳焦距，来处理捕捉的图像数据和捕捉的位置数据，以确定多个深度级别的深度。还提供了许多其他方面。
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公开(公告)号：CN112243484A
公开(公告)日：2021-01-19
申请号：CN201980038104.2
申请日：2019-06-04
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 奥兹坎·塞利克 , 帕特丽夏·A·舒尔茨 , 格雷戈里·J·弗里曼 , 保罗·Z·沃思 , 托马索·维尔切斯
Abstract: 深度测量设备包括：(1)相机和镜头组件，该相机和镜头组件捕捉包括多个深度级别的目标的图像序列的图像数据；(2)运动台，相机和镜头组件或目标定位在该运动台上；(3)马达，该马达连接到运动台，该马达在定义的增量值处引起相机和镜头组件与目标之间的相对移动；(4)位置传感器，该位置传感器在定义的增量值中的每一个处捕捉相机和镜头组件或目标上的位置数据；及(5)控制器，该控制器使用图像梯度方法和最佳焦距，来处理捕捉的图像数据和捕捉的位置数据，以确定多个深度级别的深度。还提供了许多其他方面。
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