公开(公告)号：CN118525184A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202280088482.3

申请日：2022-11-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 帕特丽夏·舒尔茨 ,  格雷戈里·J·弗里曼 ,  迈克尔·库特尼 ,  阿伦库马尔·拉马查德拉亚 ,  卓志忠 ,  祝昭钊 ,  奥兹坎·塞利克

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/02 ,  G01B11/03 ,  H01L21/66 ,  H01L21/687 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 一种装置包括：基板固持器；第一致动器，用于旋转该基板固持器；第二致动器，用于线性地移动该基板固持器；第一传感器，用于产生该基板的一个或多个第一测量或影像；第二传感器，用于产生对该基板上的目标位置的一个或多个第二测量；以及处理设备。该处理设备估计该基板在该基板固持器上的位置，并致使该第一致动器使该基板固持器围绕第一轴线旋转。该旋转会由于该基板没有在该基板固持器上居中，导致该第二传感器的视野与该基板上的目标位置之间出现偏移。该处理设备致使该第二致动器使该基板固持器沿着第二轴线线性地移动，以改正该偏移。该处理设备基于对这些目标位置的该一个或多个第二测量，确定横跨该基板的表面的轮廓。