公开(公告)号：CN103189999A

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201180050221.4

申请日：2011-09-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 考施·K·辛格 ,  罗伯特·简·维瑟 ,  斯里坎特·拉奥 ,  巴斯卡·库马 ,  克莱尔·J·卡马尔特 ,  兰加·拉奥·阿内帕利 ,  奥姆卡尔姆·纳兰姆苏 ,  戈拉夫·绍劳夫 ,  克里斯托弗·S·布莱克曼 ,  桑贾伊安·萨特西瓦姆

IPC: H01L31/075 ,  H01L31/072 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18 ,  C23C16/30

CPC classification number: H01L29/78681 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  C23C16/301 ,  C23C16/56 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02546 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02601 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02628 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/3245 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/127 ,  H01L29/207 ,  H01L29/454 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78696 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/035227 ,  H01L31/072 ,  H01L31/075 ,  H01L31/184 ,  H01L31/1864 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/424 ,  Y02E10/544 ,  Y02E10/548 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的实施例提供一种由溶液型前驱物形成掺杂的砷化镓(GaAs)基层的方法。由该溶液型前驱物所形成的掺杂的砷化镓(GaAs)基层可帮助太阳能电池装置提高光吸收作用及转化效率。在一个实施例中，一种形成太阳能电池装置的方法包括：在基板表面上方形成第一层，在所述第一层内掺杂有第一种掺杂剂；在该第一层上形成砷化镓基层；以及在该砷化镓基层上形成第二层，在所述第二层内掺杂有第二种掺杂剂。

公开(公告)号：CN103189999B

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201180050221.4

申请日：2011-09-30

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 考施·K·辛格 ,  罗伯特·简·维瑟 ,  斯里坎特·拉奥 ,  巴斯卡·库马 ,  克莱尔·J·卡马尔特 ,  兰加·拉奥·阿内帕利 ,  奥姆卡尔姆·纳兰姆苏 ,  戈拉夫·绍劳夫 ,  克里斯托弗·S·布莱克曼 ,  桑贾伊安·萨特西瓦姆

IPC: H01L31/0224 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/072 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  C23C16/30 ,  C23C16/56 ,  H01L21/02 ,  H01L51/42

CPC classification number: H01L29/78681 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  C23C16/301 ,  C23C16/56 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02546 ,  H01L21/02576 ,  H01L21/02579 ,  H01L21/02601 ,  H01L21/0262 ,  H01L21/02628 ,  H01L21/02631 ,  H01L21/3245 ,  H01L27/1225 ,  H01L27/127 ,  H01L29/207 ,  H01L29/454 ,  H01L29/66742 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/78696 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/035227 ,  H01L31/072 ,  H01L31/075 ,  H01L31/184 ,  H01L31/1864 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/424 ,  Y02E10/544 ,  Y02E10/548 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明的实施例提供一种由溶液型前驱物形成掺杂的砷化镓(GaAs)基层的方法。由该溶液型前驱物所形成的掺杂的砷化镓(GaAs)基层可帮助太阳能电池装置提高光吸收作用及转化效率。在一个实施例中，一种形成太阳能电池装置的方法包括：在基板表面上方形成第一层，在所述第一层内掺杂有第一种掺杂剂；在该第一层上形成砷化镓基层；以及在该砷化镓基层上形成第二层，在所述第二层内掺杂有第二种掺杂剂。