公开(公告)号：CN102903654A

公开(公告)日：2013-01-30

申请号：CN201210378624.8

申请日：2009-05-29

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 理查德·弗威尔 ,  保罗·比瑞哈特 ,  桑·音·伊 ,  安尼苏尔·H·卡恩 ,  吉维克·帝尼威 ,  谢恩·奈威尔

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F28D15/00 ,  F28D2021/0077 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

Abstract: 本发明涉及快速衬底支撑件温度控制。本发明提供用于控制衬底支撑件温度的方法和设备。在部分实施例中，用于控制衬底支撑件的温度的设备包括第一热传递回路和第二热传递回路。第一热传递回路具有第一浴槽，且该第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体。第二热传递回路具有第二浴槽，且该第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体。第一温度可以与第二温度为相同或不同。可以提供第一和第二流量控制器，以各别将第一和第二热传递流体提供到衬底支撑件。一个或多个回流管路可以将衬底支撑件的一个或多个出口耦接到第一和第二浴槽，用以使得第一和第二热传递流体回流到第一和第二浴槽。

公开(公告)号：CN102903654B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201210378624.8

申请日：2009-05-29

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 理查德·弗威尔 ,  保罗·比瑞哈特 ,  桑·音·伊 ,  安尼苏尔·H·卡恩 ,  吉维克·帝尼威 ,  谢恩·奈威尔

IPC: H01L21/67

CPC classification number: F28D15/00 ,  F28D2021/0077 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

Abstract: 本发明涉及快速衬底支撑件温度控制。本发明提供用于控制衬底支撑件温度的方法和设备。在部分实施例中，用于控制衬底支撑件的温度的设备包括第一热传递回路和第二热传递回路。第一热传递回路具有第一浴槽，且该第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体。第二热传递回路具有第二浴槽，且该第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体。第一温度可以与第二温度为相同或不同。可以提供第一和第二流量控制器，以各别将第一和第二热传递流体提供到衬底支撑件。一个或多个回流管路可以将衬底支撑件的一个或多个出口耦接到第一和第二浴槽，用以使得第一和第二热传递流体回流到第一和第二浴槽。

公开(公告)号：CN102057476B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200980120803.8

申请日：2009-05-29

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 理查德·弗威尔 ,  保罗·比瑞哈特 ,  桑·音·伊 ,  安尼苏尔·H·卡恩 ,  吉维克·帝尼威 ,  谢恩·奈威尔

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324

CPC classification number: F28D15/00 ,  F28D2021/0077 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

Abstract: 本发明提供用于控制衬底支撑件温度的方法和设备。在部分实施例中，用于控制衬底支撑件的温度的设备包括第一热传递回路和第二热传递回路。第一热传递回路具有第一浴槽，且该第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体。第二热传递回路具有第二浴槽，且该第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体。第一温度可以与第二温度为相同或不同。可以提供第一和第二流量控制器，以各别将第一和第二热传递流体提供到衬底支撑件。一个或多个回流管路可以将衬底支撑件的一个或多个出口耦接到第一和第二浴槽，用以使得第一和第二热传递流体回流到第一和第二浴槽。

公开(公告)号：CN102057476A

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200980120803.8

申请日：2009-05-29

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 理查德·弗威尔 ,  保罗·比瑞哈特 ,  桑·音·伊 ,  安尼苏尔·H·卡恩 ,  吉维克·帝尼威 ,  谢恩·奈威尔

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/687 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324

CPC classification number: F28D15/00 ,  F28D2021/0077 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/67248

Abstract: 本发明提供用于控制衬底支撑件温度的方法和设备。在部分实施例中，用于控制衬底支撑件的温度的设备包括第一热传递回路和第二热传递回路。第一热传递回路具有第一浴槽，且该第一浴槽具有处于第一温度的第一热传递流体。第二热传递回路具有第二浴槽，且该第二浴槽具有处于第二温度的第二热传递流体。第一温度可以与第二温度为相同或不同。可以提供第一和第二流量控制器，以各别将第一和第二热传递流体提供到衬底支撑件。一个或多个回流管路可以将衬底支撑件的一个或多个出口耦接到第一和第二浴槽，用以使得第一和第二热传递流体回流到第一和第二浴槽。