公开(公告)号：CN103650109B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201280033269.9

申请日：2012-07-12

申请人： 应用材料公司

发明人： 基思·布赖恩·波特豪斯 ,  约翰·W·莱恩 ,  麻里乌斯·格雷戈尔 ,  尼尔·玛丽 ,  迈克尔·R·赖斯 ,  亚历克斯·明科维奇 ,  洪斌·李 ,  德米特里·A·季利诺

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC分类号： G05D16/2046 ,  G05B17/02 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253

摘要： 本文披露方法和设备。在一些实施方式中，控制处理腔室的方法可包括预先确定作为工艺参数的函数的排放阀的位置与处理容积中的压力之间的关系；将处理腔室设定成第一状态，第一状态具有处理容积中的第一压力和工艺参数的第一值，其中将排放阀依据预定关系设定到第一位置以在第一值下产生第一压力；当将处理腔室从第一状态变成第二状态时，确定压力控制分布以控制压力，其中第二状态具有第二压力和工艺参数的第二值；以及在使处理腔室变成第二状态时，通过改变排放阀的位置，以应用压力控制分布来控制压力。

公开(公告)号：CN103370778B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201280007812.8

申请日：2012-01-26

申请人： 应用材料公司

发明人： 利昂·沃尔福夫斯基 ,  马尤尔·G·库尔卡尼 ,  亚历克斯·明科维奇

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  H05B3/20 ,  G02F1/13

CPC分类号： H01L21/6875 ,  H01L21/67109

摘要： 本发明提供具有加热器与集成冷却器的基板支撑件的实施例。在某些实施例中，基板支撑件可包括：第一构件，当基板位于第一构件的第一表面上方时，第一构件用以散布热至基板；加热器，加热器设置于第一构件下，且加热器具有一或多个加热区域以提供热至第一构件；多个冷却通道，多个冷却通道设置于第一构件下，以移除加热器提供的热；多个基板支撑销，多个基板支撑销设置在高于第一构件的第一表面上第一距离处，当基板位于基板支撑件上时，多个基板支撑销用以支撑基板的背侧表面；及对准引导件，对准引导件自第一构件的第一表面延伸并围绕多个基板支撑销。

公开(公告)号：CN103370778A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201280007812.8

申请日：2012-01-26

申请人： 应用材料公司

发明人： 利昂·沃尔福夫斯基 ,  马尤尔·G·库尔卡尼 ,  亚历克斯·明科维奇

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/68 ,  H05B3/20 ,  G02F1/13

CPC分类号： H01L21/6875 ,  H01L21/67109

摘要： 本发明提供具有加热器与集成冷却器的基板支撑件的实施例。在某些实施例中，基板支撑件可包括：第一构件，当基板位于第一构件的第一表面上方时，第一构件用以散布热至基板；加热器，加热器设置于第一构件下，且加热器具有一或多个加热区域以提供热至第一构件；多个冷却通道，多个冷却通道设置于第一构件下，以移除加热器提供的热；多个基板支撑销，多个基板支撑销设置在高于第一构件的第一表面上第一距离处，当基板位于基板支撑件上时，多个基板支撑销用以支撑基板的背侧表面；及对准引导件，对准引导件自第一构件的第一表面延伸并围绕多个基板支撑销。

公开(公告)号：CN104813462B

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201380061393.0

申请日：2013-11-20

申请人： 应用材料公司

发明人： 尼尔·玛利 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  亚历克斯·明科维奇 ,  布伦丹·蒂尔

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B25J9/16 ,  B25J19/02

CPC分类号： B25J9/1653

摘要： 本文的实施方式揭示了振动控制的机械手设备。所述设备包括机械手，所述机械手具有：能操作以输送基板的终端受动器；耦接至机械手的传感器，所述传感器能操作以在机械手输送基板时感测振动，并操作所述机械手以减少支撑基板的终端受动器的振动。在一些实施方式中，在电机驱动电路中提供滤波器以过滤导致终端受动器的不想要的振动的一或更多个频率。本文亦提供振动控制系统及操作所述系统的方法，及其他方面。

公开(公告)号：CN104813462A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201380061393.0

申请日：2013-11-20

申请人： 应用材料公司

发明人： 尼尔·玛利 ,  杰弗里·C·赫金斯 ,  亚历克斯·明科维奇 ,  布伦丹·蒂尔

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B25J9/16 ,  B25J19/02

CPC分类号： B25J9/1653

摘要： 本文的实施方式揭示了振动控制的机械手设备。所述设备包括机械手，所述机械手具有：能操作以输送基板的终端受动器；耦接至机械手的传感器，所述传感器能操作以在机械手输送基板时感测振动，并操作所述机械手以减少支撑基板的终端受动器的振动。在一些实施方式中，在电机驱动电路中提供滤波器以过滤导致终端受动器的不想要的振动的一或更多个频率。本文亦提供振动控制系统及操作所述系统的方法，及其他方面。

公开(公告)号：CN103650109A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280033269.9

申请日：2012-07-12

申请人： 应用材料公司

发明人： 基思·布赖恩·波特豪斯 ,  约翰·W·莱恩 ,  麻里乌斯·格雷戈尔 ,  尼尔·玛丽 ,  迈克尔·R·赖斯 ,  亚历克斯·明科维奇 ,  洪斌·李 ,  德米特里·A·季利诺

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC分类号： G05D16/2046 ,  G05B17/02 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253

摘要： 本文披露方法和设备。在一些实施方式中，控制处理腔室的方法可包括预先确定作为工艺参数的函数的排放阀的位置与处理容积中的压力之间的关系；将处理腔室设定成第一状态，第一状态具有处理容积中的第一压力和工艺参数的第一值，其中将排放阀依据预定关系设定到第一位置以在第一值下产生第一压力；当将处理腔室从第一状态变成第二状态时，确定压力控制分布以控制压力，其中第二状态具有第二压力和工艺参数的第二值；以及在使处理腔室变成第二状态时，通过改变排放阀的位置，以应用压力控制分布来控制压力。