公开(公告)号：CN103650109B

公开(公告)日：2016-11-09

申请号：CN201280033269.9

申请日：2012-07-12

申请人： 应用材料公司

发明人： 基思·布赖恩·波特豪斯 ,  约翰·W·莱恩 ,  麻里乌斯·格雷戈尔 ,  尼尔·玛丽 ,  迈克尔·R·赖斯 ,  亚历克斯·明科维奇 ,  洪斌·李 ,  德米特里·A·季利诺

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC分类号： G05D16/2046 ,  G05B17/02 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253

摘要： 本文披露方法和设备。在一些实施方式中，控制处理腔室的方法可包括预先确定作为工艺参数的函数的排放阀的位置与处理容积中的压力之间的关系；将处理腔室设定成第一状态，第一状态具有处理容积中的第一压力和工艺参数的第一值，其中将排放阀依据预定关系设定到第一位置以在第一值下产生第一压力；当将处理腔室从第一状态变成第二状态时，确定压力控制分布以控制压力，其中第二状态具有第二压力和工艺参数的第二值；以及在使处理腔室变成第二状态时，通过改变排放阀的位置，以应用压力控制分布来控制压力。

公开(公告)号：CN103650109A

公开(公告)日：2014-03-19

申请号：CN201280033269.9

申请日：2012-07-12

申请人： 应用材料公司

发明人： 基思·布赖恩·波特豪斯 ,  约翰·W·莱恩 ,  麻里乌斯·格雷戈尔 ,  尼尔·玛丽 ,  迈克尔·R·赖斯 ,  亚历克斯·明科维奇 ,  洪斌·李 ,  德米特里·A·季利诺

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/02

CPC分类号： G05D16/2046 ,  G05B17/02 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67253

摘要： 本文披露方法和设备。在一些实施方式中，控制处理腔室的方法可包括预先确定作为工艺参数的函数的排放阀的位置与处理容积中的压力之间的关系；将处理腔室设定成第一状态，第一状态具有处理容积中的第一压力和工艺参数的第一值，其中将排放阀依据预定关系设定到第一位置以在第一值下产生第一压力；当将处理腔室从第一状态变成第二状态时，确定压力控制分布以控制压力，其中第二状态具有第二压力和工艺参数的第二值；以及在使处理腔室变成第二状态时，通过改变排放阀的位置，以应用压力控制分布来控制压力。