表面声波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1551495B

    公开(公告)日:2011-01-05

    申请号:CN200410034747.5

    申请日:2004-05-09

    Abstract: 一种制造表面声波器件的方法,该表面声波器件包括在一个表面上形成有第一滤波器和第二滤波器的压电基板,第一滤波器和第二滤波器包括表面声波谐振器,以及与压电基板的另一表面接合的支撑基板,该方法包括以下步骤:使用切割刀在两个交叠的谐振器之间形成从压电基板穿透到支撑基板的上层的部分的沟槽,从而其上形成有第一滤波器的压电基板和其上形成有第二滤波器的压电基板被沟槽分离,两个交叠的谐振器中的其中一个包括在第一滤波器中,另一个包括在第二滤波器中,两个交叠的谐振器具有在表面声波传播方向上彼此交叠的多个谐振部分,其中支撑基板是蓝宝石基板,其中压电基板是钽酸锂基板、铌酸锂基板或者水晶基板。

    弹性波器件及其制造方法

    公开(公告)号:CN101114822A

    公开(公告)日:2008-01-30

    申请号:CN200710107738.8

    申请日:2007-04-28

    CPC classification number: H03H9/72 H03H3/08 H03H9/0576 H03H2250/00

    Abstract: 本发明提供弹性波器件及其制造方法。本发明公开了一种通过在至少两个表面声波器件之间填充树脂而接合所述至少两个表面声波器件来形成的弹性波器件。各个表面声波器件包括:基板、设置在所述基板上的功能部、形成所述功能部的操作所必需的空间部分的凹陷、以及覆盖所述基板的表面的封装,所述至少两个表面声波器件的封装的与通过在所述至少两个表面声波器件之间填充树脂而接合的部分相对应的侧面包括至少一个切去部,并且,所述至少两个表面声波器件的基板的侧面、背面和正面中的每一个的一部分覆盖有第一树脂,并且在所述封装的侧面上的所述至少一个切去部内填充有所述第一树脂。

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