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公开(公告)号:CN101145768A
公开(公告)日:2008-03-19
申请号:CN200710154066.6
申请日:2007-09-13
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0222 , H03H9/02574
Abstract: 本发明涉及声波器件、谐振器和滤波器。该声波器件包括压电基板;形成在所述压电基板上的梳状电极;以及设置为覆盖所述梳状电极的第一介电膜,所述第一介电膜具有与所述梳状电极的多个指相关的多个空隙。
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公开(公告)号:CN100576737C
公开(公告)日:2009-12-30
申请号:CN200710154066.6
申请日:2007-09-13
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/0222 , H03H9/02574
Abstract: 本发明涉及声波器件、谐振器和滤波器。该声波器件包括压电基板;形成在所述压电基板上的梳状电极;以及设置为覆盖所述梳状电极的第一介电膜,并且所述第一介电膜设置为使得:在所述第一介电膜中形成空隙并且该空隙接触所述梳状电极的指。
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