图案形成方法
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101167021A

    公开(公告)日:2008-04-23

    申请号:CN200680014526.9

    申请日:2006-04-12

    CPC classification number: G03F7/027 G03F7/161 G03F7/26 H05K3/0082

    Abstract: 本发明提供良好地抑制因安全灯等光源的图案形成材料的敏感度变化,保存稳定性优良,可以高精细且有效地形成布线图案等永久图案的图案形成方法。由此提供一种图案形成方法,其使用具有支承体和该支承体上的至少在350~500nm下显示感光特性的感光层,且能量敏感度为1~20mJ/cm2的图案形成材料,在具有380~500nm的波长区域,且该波长区域中的至少一个波长的能量强度在1×10-2μW/cm2/nm以下的光源下,进行向基材表面的感光层的叠层工序、和该叠层工序和直到曝光前的工序中的至少一个工序。

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