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公开(公告)号：CN113574079A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080021545.4
申请日：2020-03-09
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 崎田享平
IPC: C08F220/16 , C08F220/22 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种能够形成桥接缺陷抑制性及残膜区域中的膜减少抑制性优异的图案的EUV光用感光性组合物。并且，提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物包含树脂X及光产酸剂，所述树脂X由于酸的作用而极性增加，在碱显影液中的溶解度增加，在有机溶剂中的溶解度减少，或者包含树脂Y，所述树脂Y包含具有光酸产生基团的重复单元，且由于酸的作用而极性增加，在碱显影液中的溶解度增加，在有机溶剂中的溶解度减少，并且均满足必要条件1及必要条件2。
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公开(公告)号：CN110088679A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201780077182.4
申请日：2017-12-12
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F220/26 , C09K3/00 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/20 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C309/19 , C07C381/12
Abstract: 本发明提供一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物、及光酸产生剂、以及使用这些的感光化射线性或感放射线性膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物含有(A)通过光化射线或放射线的照射而产生pKa为-1.40以上的酸的光酸产生剂、及(B)具有含有酸分解性基的重复单元的树脂，通过具有上述酸分解性基的重复单元的Et h灵敏度为5.64以下的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，尤其在形成超微细的图案时，粗糙性能、曝光宽容度及焦点裕度非常优异。
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公开(公告)号：CN103226290B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201310037511.6
申请日：2013-01-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , G03F7/00 , G02F1/1333 , H01L27/32
Abstract: 本发明的目的为提供硬化后的基板密接性优异、可抑制图案热流动的感光性树脂组合物、硬化膜的形成方法、硬化膜、有机电致发光显示装置及液晶显示装置。本发明的感光性树脂组合物的特征在于含有(成分A)满足下述(1)或(2)的成分、(成分B)光酸产生剂、(成分C)具有1个以上8个以下酸基被酸分解性基保护而成的残基的分子量为130以上且小于1,000的化合物及(成分D)溶剂。(1)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保护而成的残基的结构单元及(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物。(2)包含(a1)具有酸基被酸分解性基保护而成的残基的结构单元的聚合物及包含(a2)具有交联性基的结构单元的聚合物。
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公开(公告)号：CN102725692A
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201180005875.5
申请日：2011-01-11
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/039 , C08F220/00 , G03F7/004 , H01L21/027 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: H05B33/22 , G03F7/0045 , G03F7/038 , G03F7/40 , H01L27/3258
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其固化后的透射率高，且可得到即使加热、透射率的降低也小的固化膜，即使不进行PEB的情况下也具有非常高的感度。上述组合物包含（A）缩醛系树脂、（B）光产酸剂及（C）溶剂，该（A）缩醛系树脂含有具有通过酸生成羧基的结构的结构单元（a1）、具有羧基或酚性羟基的结构单元（a2）、具有环氧基或氧杂环丁烷基的结构单元（a3）、及具有羟基或亚烷基氧基的结构单元（a4），（a1）～（a4）的含有比率以摩尔换算计为（a1）：（a2）：（a3）：（a4）＝0.2～0.65：0.02～0.2：0.2～0.6：0.005～0.3，并且，该（A）缩醛系树脂中的（a4）的含量为3～30质量％的范围。
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公开(公告)号：CN117099045A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202280023407.9
申请日：2022-03-18
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种负型感光性树脂组合物、固化上述负型感光性树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件，上述负型感光性树脂组合物包含树脂、借由曝光而该曝光波长的吸光度变小的化合物A及光聚合引发剂，上述负型感光性树脂组合物满足下述条件i及条件ii中的至少一者。条件i：组合物还含有含氮环状化合物作为与上述树脂、上述萘醌二叠氮化合物及上述光聚合引发剂不同的成分。条件ii：包含具有含氮杂环结构的树脂作为上述树脂，上述含氮杂环结构包含2个以上的氮原子作为成环原子。
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公开(公告)号：CN116075777A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202180054914.4
申请日：2021-08-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法包括：膜形成工序，将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜；曝光工序；显影工序；处理工序，使包含选自碱及产碱剂中的至少1种化合物的含碱处理液与上述图案接触；以及加热工序，上述含碱处理液中的水的含量为50质量％以下。
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公开(公告)号：CN113574079B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202080021545.4
申请日：2020-03-09
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 崎田享平
IPC: C08F220/16 , C08F220/22 , G03F7/039 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种能够形成桥接缺陷抑制性及残膜区域中的膜减少抑制性优异的图案的EUV光用感光性组合物。并且，提供一种图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物包含树脂X及光产酸剂，所述树脂X由于酸的作用而极性增加，在碱显影液中的溶解度增加，在有机溶剂中的溶解度减少，或者包含树脂Y，所述树脂Y包含具有光酸产生基团的重复单元，且由于酸的作用而极性增加，在碱显影液中的溶解度增加，在有机溶剂中的溶解度减少，并且均满足必要条件1及必要条件2。
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公开(公告)号：CN104508554B
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201380040120.8
申请日：2013-06-03
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004 , C07D263/56 , C07D263/60 , C07D277/64 , C07D277/84 , C08F12/22 , C08F20/26 , G02F1/1368 , G03F7/039 , G03F7/40 , H01L51/50 , H05B33/22
CPC classification number: G03F7/027 , C07D263/56 , C07D263/60 , C07D277/64 , C07D277/84 , C07D417/12 , C08F12/22 , C08F20/26 , G03F7/0045 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/40 , H01L27/3258 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、有机EL显示装置、液晶显示装置及化合物。所述感光性树脂组合物的感光度、保存稳定性、及耐热透明性优异。所述感光性树脂组合物包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物；(B)由式(I)所表示的化合物；以及(C)溶剂。
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公开(公告)号：CN106575078A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201580038645.7
申请日：2015-07-07
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F2/44 , G02F1/1333 , G03F7/004 , G03F7/075 , G03F7/40 , G06F3/041 , H01L51/50 , H05B33/04 , H05B33/22
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即便在低温下加热也可获得可靠性优异的硬化膜、且可利用光刻法来进行图案成形的感光性组合物。本发明的感光性组合物的特征在于含有：作为成分A的在分子内具有3个以上的(甲基)丙烯酰基与1个以上的羧基的聚合性单量体、作为成分B的在分子内具有3个以上的(甲基)丙烯酰基且不具有羧基的聚合性单量体、作为成分C的光聚合引发剂、作为成分D的溶剂、作为成分N的封闭异氰酸酯化合物、及作为成分K的聚合抑制剂；且相对于成分A及成分B的总含量，成分A的含量为10质量％～50质量％。
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