-
-
公开(公告)号：CN112805317B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201980062824.2
申请日：2019-09-24
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： C08G73/10 , C08F299/02 , C08L79/08 , G03F7/037
摘要： 一种树脂组合物、使用了树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体器件，所述树脂组合物包含选自聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种聚合物前体的树脂组合物，其中，HNO2、NO2‑、HNO3、NO3‑、H2SO4、HSO4‑、SO42‑、H2SO3、HSO3‑及SO32‑的合计的含量相对于树脂组合物的总固体成分为1质量ppb以上且1000质量ppm以下。
-
公开(公告)号：CN105051106B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201480014265.5
申请日：2014-03-11
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： C08L67/00 , C07C251/16 , C08K5/29 , H01L31/049 , H01L31/042
CPC分类号： C07C251/16 , C08J5/18 , C08J2367/02 , C08J2367/03 , C08K3/22 , C08K5/29 , C08K2003/2241 , H01L31/02327 , H01L31/049 , Y02E10/50 , C08L67/00
摘要： 本发明提供一种包含下述通式(1)所示的烯酮亚胺化合物和聚酯的聚酯树脂组合物，其耐水解性高，并且可以抑制黄着色。R11、R12、R21及R22中的至少一个表示可以具有取代基的烷基、芳基、烷氧基或芳氧基，R15及R25表示可以具有取代基的烷基、芳基、烷氧基或芳氧基，R3表示可以具有取代基的烷基或芳基，a及b表示0～3的整数。
-
公开(公告)号：CN117043273A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202280021576.9
申请日：2022-03-10
申请人： 富士胶片株式会社
发明人： 小川伦弘
IPC分类号： C08L79/08
摘要： 本发明提供一种树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件，上述树脂组合物包含环化树脂或作为其前驱体的树脂，上述树脂包含含有2个以上的氮原子作为成环原子的含氮杂环结构，将上述树脂在1气压、350℃下加热2小时的情况下从树脂脱离的包含上述含氮杂环结构的结构的摩尔量相对于上述树脂中包含的上述含氮杂环结构的总摩尔量的比例为10％以下。
-
公开(公告)号：CN110537148B
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN201880026076.8
申请日：2018-04-12
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明提供一种Z‑因子良好且能够形成图案崩塌得到抑制的图案的EUV光用感光性组合物、图案形成方法及电子器件的制造方法。EUV光用感光性组合物含有规定的树脂及光产酸剂，或者含有具有含光产酸基团的重复单元的规定的树脂，且满足要件1和要件2。要件1：由式(1)求出的A值为0.14以上。式(1)：A＝([H]×0.04+[C]×1.0+[N]×2.1+[O]×3.6+[F]×5.6+[S]×1.5+[I]×39.5)/([H]×1+[C]×12+[N]×14+[O]×16+[F]×19+[S]×32+[I]×127)。要件2：EUV光用感光性组合物中的固体成分浓度为2.5质量％以下。
-
-
公开(公告)号：CN109891276B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN201780065961.2
申请日：2017-11-02
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： G02B5/22 , G02B3/00 , G02B5/20 , H01L31/0232
摘要： 本发明提供一种能够使用于灵敏度良好地进行利用近红外线的感测的红外线传感器等中的结构体、固体摄像元件及红外线传感器。并且，提供一种所述结构体的制造中使用的组合物。该结构体(10)具有：近红外线透射滤波器(12)，遮蔽可见区域的光，并使近红外区域的光中的至少一部分透射；及部件(13)，设置于近红外线透射滤波器(12)的光路上且向近红外线透射滤波器(12)的入射光侧及来自近红外线透射滤波器(12)的射出光侧中的至少一侧，使近红外区域的光透射，且相对于近红外区域的光的折射率为1.7以上。
-
公开(公告)号：CN111727208B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN201980013666.1
申请日：2019-02-04
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： C08F290/12 , C08F220/00 , C08F299/00 , G02B5/20 , G02F1/1335 , G03F7/004 , G03F7/027 , H01L27/146
摘要： 本发明提供一种包含颜料、具有由式1表示的结构单元的树脂及光聚合引发剂的固化性组合物、固化上述固化性组合物而成的固化物、具备上述固化物的滤色器、上述滤色器的制造方法或具备上述滤色器的固体摄像元件或者图像显示装置。R1～R3分别独立地表示氢原子或烷基，X1表示‑COO‑、‑CONR‑或亚芳基，R4表示二价的连接基团，L1表示由式2或式3表示的基团，R5表示(n+1)价的连接基团，X2表示氧原子或‑NRA‑，RA表示氢原子、烷基或芳基，n表示1以上的整数。#imgabs0#
-
公开(公告)号：CN111788525B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201980015829.X
申请日：2019-02-19
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明的课题在于，提供一种所形成的图案的LER及崩塌抑制能力优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，本发明的另一课题在于，提供一种使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。并且，本发明的另一课题在于，提供一种能够用于上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的树脂。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物及通过酸的作用而极性增大的树脂，其中，上述树脂包含通式(B‑1)所表示的重复单元，并且上述通式(B‑1)所表示的重复单元的含量相对于上述树脂中的所有重复单元为5～70质量％。通式(B‑1)中，R1表示氢原子或有机基团。环W1表示至少包含1个碳原子及1个氮原子，并且任选地具有取代基的环。
-
公开(公告)号：CN111788525A
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201980015829.X
申请日：2019-02-19
申请人： 富士胶片株式会社
摘要： 本发明的课题在于，提供一种所形成的图案的LER及崩塌抑制能力优异的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，本发明的另一课题在于，提供一种使用上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。并且，本发明的另一课题在于，提供一种能够用于上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物的树脂。本发明的感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含通过光化射线或放射线的照射而产生酸的化合物及通过酸的作用而极性增大的树脂，其中，上述树脂包含通式(B‑1)所表示的重复单元，并且上述通式(B‑1)所表示的重复单元的含量相对于上述树脂中的所有重复单元为5～70质量％。通式(B‑1)中，R1表示氢原子或有机基团。环W1表示至少包含1个碳原子及1个氮原子，并且任选地具有取代基的环。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
21 条记录 (耗时 0.028 秒)
