树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件

    公开(公告)号:CN116724071A

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202180087350.4

    申请日:2021-12-24

    Abstract: 本发明提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件,该树脂组合物包含作为环化树脂或其前体的树脂及聚合引发剂,上述树脂具有包含聚合性基团的侧链,上述树脂的主链与上述聚合性基团经由连接基团键合,上述连接基团包含脲键。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116075777A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202180054914.4

    申请日:2021-08-24

    Abstract: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序;处理工序,使包含选自碱及产碱剂中的至少1种化合物的含碱处理液与上述图案接触;以及加热工序,上述含碱处理液中的水的含量为50质量%以下。

    感光性树脂组合物、固化膜、层叠体、固化膜的制造方法、半导体元件及热产碱剂

    公开(公告)号:CN112639615A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN201980056004.2

    申请日:2019-07-22

    Inventor: 野崎敦靖

    Abstract: 本发明提供一种固化性及保存稳定性优异的感光性树脂组合物。并且,本发明提供一种利用上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。感光性树脂组合物包含由式(N1)表示的热产碱剂、以及聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物。式(N1)中,XN表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种,ZN表示氧原子或硫原子,LN为从相邻氮原子连结至XN为止的烃基,且表示构成连结链的原子数为2~6的烃基。

    负型感光性树脂组合物、负型平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法

    公开(公告)号:CN107924126A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201680047385.4

    申请日:2016-06-24

    Abstract: 本发明提供一种负型感光性树脂组合物、负型平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法。本发明的负型感光性树脂组合物含有:高分子化合物,在主链具有由式A-1表示的连接基团,并且具有烯属不饱和基团;及聚合引发剂。式A-1中,R1及R2分别独立地表示氢原子或一价有机基团,X1表示由式A-2~式A-6中的任一个表示的连接基团。负型平版印刷版原版具有包含上述负型感光性树脂组合物的图像记录层。平版印刷版的制作方法依次包括:曝光工序,对上述负型平版印刷版原版进行图像曝光;及显影工序,使用显影液去除所曝光的上述负型平版印刷版原版的非曝光部并进行显影。

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