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公开(公告)号:CN114730132B
公开(公告)日:2025-05-09
申请号:CN202080081668.7
申请日:2020-11-26
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 野崎敦靖
IPC: G03F7/027 , C08G73/10 , H01L23/14 , H05K3/28 , C08F290/14
Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件、以及提供一种具有特定结构的新的树脂,其中,上述固化性树脂组合物包含具有选自下述式(1‑1)所表示的重复单元及下述式(1‑2)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的树脂以及聚合引发剂。#imgabs0#
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公开(公告)号:CN116075777A
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN202180054914.4
申请日:2021-08-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序;处理工序,使包含选自碱及产碱剂中的至少1种化合物的含碱处理液与上述图案接触;以及加热工序,上述含碱处理液中的水的含量为50质量%以下。
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公开(公告)号:CN115667404A
公开(公告)日:2023-01-31
申请号:CN202180039172.8
申请日:2021-06-02
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 野崎敦靖
IPC: C08L79/04 , B32B27/16 , B32B27/26 , B32B27/34 , C08K5/34 , C08L101/02 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/037 , G03F7/075 , G03F7/20 , B32B15/088
Abstract: 本发明提供一种固化性树脂组合物、将上述固化性树脂组合物固化而成的固化膜、包含上述固化膜的层叠体、上述固化膜的制造方法及包含上述固化膜或上述层叠体的半导体器件,所述固化性树脂组合物包含:选自聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺及聚苯并噁唑中的至少1种树脂;以及作为具有聚合性基团及唑基的化合物的化合物B。
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公开(公告)号:CN112639615A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN201980056004.2
申请日:2019-07-22
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 野崎敦靖
IPC: G03F7/004 , C08F290/14 , G03F7/027
Abstract: 本发明提供一种固化性及保存稳定性优异的感光性树脂组合物。并且,本发明提供一种利用上述感光性树脂组合物的固化膜、层叠体、固化膜的制造方法及半导体元件。感光性树脂组合物包含由式(N1)表示的热产碱剂、以及聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的至少一种前体化合物。式(N1)中,XN表示羟基、羧基及磺酸基中的任一种,ZN表示氧原子或硫原子,LN为从相邻氮原子连结至XN为止的烃基,且表示构成连结链的原子数为2~6的烃基。
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公开(公告)号:CN107924126A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680047385.4
申请日:2016-06-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F2/50 , C08F290/14 , G03F7/028 , G03F7/029
Abstract: 本发明提供一种负型感光性树脂组合物、负型平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法。本发明的负型感光性树脂组合物含有:高分子化合物,在主链具有由式A-1表示的连接基团,并且具有烯属不饱和基团;及聚合引发剂。式A-1中,R1及R2分别独立地表示氢原子或一价有机基团,X1表示由式A-2~式A-6中的任一个表示的连接基团。负型平版印刷版原版具有包含上述负型感光性树脂组合物的图像记录层。平版印刷版的制作方法依次包括:曝光工序,对上述负型平版印刷版原版进行图像曝光;及显影工序,使用显影液去除所曝光的上述负型平版印刷版原版的非曝光部并进行显影。
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公开(公告)号:CN107922752A
公开(公告)日:2018-04-17
申请号:CN201680047379.9
申请日:2016-08-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C09B69/10 , C08F220/36 , G02B5/20 , C08L33/14 , G02F1/1335 , G03F7/004 , G03F7/033 , H01L27/14
Abstract: 本发明提供一种耐热性及耐溶剂性优异的着色组合物、固化膜、滤色器、滤色器的制造方法、固体摄像元件、图像显示装置及聚合物。本发明的着色组合物包含:聚合物TP,仅包含具有三芳基甲烷结构的重复单元A及具有酸基的重复单元B;及聚合性化合物,聚合物TP含有聚合物TP的所有重复单元的12~60质量%的重复单元B。
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公开(公告)号:CN107209459A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201680009937.2
申请日:2016-02-16
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 野崎敦靖
Abstract: 本发明的目的在于提供一种对所得到的平板印刷版原版的非图像部中的碱水溶液的溶解性良好,进而所得到的平板印刷版的耐化学性及耐印刷性优异的感光性树脂组合物、使用了上述感光性树脂组合物的平板印刷版原版及平板印刷版的制作方法及新型的高分子化合物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,含有:高分子化合物,在主链上具有多环式结构,并且,在主链上具有磺酰胺基;及红外线吸收剂。
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公开(公告)号:CN118974658A
公开(公告)日:2024-11-15
申请号:CN202380031623.2
申请日:2023-03-23
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 野崎敦靖
IPC: G03F7/027 , C08F290/14 , C08G73/12 , G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 一种感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件,该感光性树脂组合物包含:含有由下述式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前体、聚合性化合物及光聚合引发剂,Z1为含有2个以上的醚基及苯环结构的有机基团,Y1为有机基团,A1及A2分别独立地为氧原子或‑NRZ‑,RZ为氢原子或有机基团,R1及R2分别独立地为氢原子或有机基团,R1及R2中的至少1个为具有烯属不饱和键的有机基团。#imgabs0#
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