固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法、树脂组合物、固化物、层叠体及半导体器件

    公开(公告)号:CN117730280A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202280053084.8

    申请日:2022-06-28

    IPC分类号: G03F7/037

    摘要: 本发明提供一种可获得与金属的密合性优异的固化物的固化物的制造方法、使用固化物的制造方法的层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法。本发明还提供一种可获得与金属的密合性优异的固化物的树脂组合物、固化树脂组合物而成的固化物、包含固化物的层叠体及半导体器件。固化物的制造方法包括膜形成工序及在180℃以下的加热温度下加热膜的加热工序,将加热工序后的膜以10℃/分钟的速度从25℃升温至260℃、在260℃下维持15分钟、以10℃/分钟的速度从260℃升温至300℃时的质量减少率为15%以下,所获得的固化物中的由环化树脂的前驱体得到的环化树脂的环化率为95%以上。

    树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件、以及聚酰亚胺前驱体

    公开(公告)号:CN117120512A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202280025196.2

    申请日:2022-03-28

    发明人: 野崎敦靖

    IPC分类号: C08G73/10

    摘要: 本发明提供一种包含具有由下述式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前驱体的树脂组合物、固化上述树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法、及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件、以及具有由下述式(1)表示的重复单元的聚酰亚胺前驱体;式(1)中,A1及A2分别独立地表示氧原子或‑NH‑,R111表示2价有机基团,Y1、W1及Y2分别独立地表示芳基,n表示1以上的整数,R113及R114分别独立地表示氢原子或1价有机基团。

    正型平板印刷版原版及平板印刷版的制作方法

    公开(公告)号:CN109690403A

    公开(公告)日:2019-04-26

    申请号:CN201780056040.X

    申请日:2017-08-18

    摘要: 本发明提供一种正型平板印刷版原版及使用了正型平板印刷版原版的平板印刷版的制作方法,该正型平板印刷版原版在具有亲水性表面的支撑体上具有图像记录层,该图像记录层含有:高分子化合物1,在主链上具有选自包含脲键、氨基甲酸酯键及碳酸酯键的组中的至少一个键,且在主链上具有磺酰胺基;高分子化合物2-1或高分子化合物2-2,该高分子化合物2-1包含由下述式S-1表示的构成单元及由下述式S-2表示的构成单元中的至少一种,该高分子化合物2-2包含由下述式EV-1表示的构成单元及由下述式EV-2表示的构成单元;及红外线吸收剂。

    负型感光性树脂组合物、负型平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法

    公开(公告)号:CN107924127A

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201680047708.X

    申请日:2016-06-24

    摘要: 本发明提供一种负型感光性树脂组合物、负型平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法。本发明的负型感光性树脂组合物含有:高分子化合物,在主链具有由式A-1表示的结构单元A、由式B-1~式B-7表示的结构单元中的至少1个的结构单元B、具有烯属不饱和基团的结构单元C;及聚合引发剂。负型平版印刷版原版具有包含上述负型感光性树脂组合物的图像记录层。平版印刷版的制作方法依次包括:曝光工序,对上述负型平版印刷版原版进行图像曝光;及显影工序,使用显影液去除所曝光的上述负型平版印刷版原版的非曝光部并进行显影。

    感光性树脂组合物、平版印刷版原版、平版印刷版的制作方法及高分子化合物

    公开(公告)号:CN107077069A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201580049413.1

    申请日:2015-08-31

    摘要: 本发明提供一种感光性树脂组合物、平版印刷版原版、平版印刷版的制作方法及高分子化合物,其目的在于提供一种对所得到的平版印刷版原版的非图像部中的碱水溶液的溶解性良好,进而所得到的平版印刷版的耐药品性及耐刷性优异的感光性树脂组合物、使用上述感光性树脂组合物的平版印刷版原版及平版印刷版的制作方法及新型的高分子化合物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于,在主链上具有选自包括胺键或季铵盐键及脲鍵、氨基甲酸酯键及碳酸酯键的组中的至少一个键,并且,含有在主链和/或侧链上具有磺酰胺基或酚性羟基的高分子化合物及红外线吸收材料。

    树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件

    公开(公告)号:CN116724071A

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN202180087350.4

    申请日:2021-12-24

    IPC分类号: C08G73/06

    摘要: 本发明提供一种树脂组合物、将上述树脂组合物固化而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件,该树脂组合物包含作为环化树脂或其前体的树脂及聚合引发剂,上述树脂具有包含聚合性基团的侧链,上述树脂的主链与上述聚合性基团经由连接基团键合,上述连接基团包含脲键。

    固化物的制造方法、层叠体的制造方法及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN116075777A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202180054914.4

    申请日:2021-08-24

    IPC分类号: G03F7/027

    摘要: 本发明提供一种即使在低温下进行固化的情况下也可以获得断裂伸长率优异的固化物的固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法。固化物的制造方法、包括上述固化物的制造方法的层叠体的制造方法及包括上述固化物的制造方法或上述层叠体的制造方法的半导体器件的制造方法包括:膜形成工序,将特定的感光性树脂组合物适用于基材上而形成膜;曝光工序;显影工序;处理工序,使包含选自碱及产碱剂中的至少1种化合物的含碱处理液与上述图案接触;以及加热工序,上述含碱处理液中的水的含量为50质量%以下。