面发光型半导体激光器和面发光型半导体激光器阵列

    公开(公告)号:CN105914581B

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201510648476.0

    申请日:2015-10-09

    Abstract: 本发明涉及面发光型半导体激光器和面发光型半导体激光器阵列。面发光型半导体激光器包括:基板;第一半导体多层膜反射器,其叠置在基板上;活性区域,其叠置在第一半导体多层膜反射器上或者叠置在第一半导体多层膜反射器上方;第二半导体多层膜反射器,其叠置在活性层上或者叠置在活性层上方;腔室延伸区域,其介于第一半导体多层膜反射器与活性区域之间或者介于第二半导体多层膜反射器与活性区域之间;以及载流子块层,其介于腔室延伸区域与活性区域之间。载流子块层包括第一载流子块层和第二载流子块层。

    制造光学半导体元件的方法

    公开(公告)号:CN106505409A

    公开(公告)日:2017-03-15

    申请号:CN201610805765.1

    申请日:2016-09-06

    Abstract: 本发明提供一种制造光学半导体元件的方法,该方法包括:第一步骤,在该第一步骤中,形成在半绝缘基板上形成的半导体层的圆柱结构;第二步骤,在该第二步骤中,在所述圆柱结构的外周暴露所述基板;第三步骤,在该第三步骤中,预处理包括所述第一接触层及所述基板的暴露表面的区域;第四步骤,在该第四步骤中,在所述第一接触层的所述暴露表面上形成第一电极;第五步骤,在该第五步骤中,在包括所述圆柱结构的侧面并且包括所述暴露表面的区域中形成中间层绝缘膜;第六步骤,在该第六步骤中,在所述中间层绝缘膜上形成第一电极配线;以及第七步骤,在该第七步骤中,在所述中间层绝缘膜上形成第二电极配线。

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