公开(公告)号：CN115961339A

公开(公告)日：2023-04-14

申请号：CN202211712751.7

申请日：2022-12-29

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 张兴茂 ,  芮阳 ,  马成 ,  黄柳青 ,  杨少林 ,  徐慶晧 ,  王忠保 ,  盛之林 ,  罗学涛 ,  盛旺 ,  李岩 ,  邹啟鹏 ,  陈炜南

IPC: C30B15/20 ,  C30B29/06

Abstract: 本发明涉及一种降低重掺单晶硅棒滑移线的工艺方法，先使熔融硅的液面距离石墨导流筒下沿之间的距离控制在40‑60mm之间，接着经过稳定、试温、引晶、放肩、转肩工序后，进入等径后等径长度100mm时拉晶的生长速度控制在低于30mm/H，保持拉晶的生长速度低于30mm/H至等径结束，在长晶的过程中通过降低拉速来控制长晶界面的径向温度梯度小于10开尔文每米，上述方法获得的晶棒内部位错明显降低，降低重掺单晶硅棒外部和内部因位错所出现的大量滑移线，提高了重掺单晶硅棒的制作效率。

公开(公告)号：CN115896927A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202211665741.2

申请日：2022-12-23

Applicant: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司

Inventor： 马吟霜 ,  芮阳 ,  马成 ,  黄柳青 ,  杨少林 ,  徐慶晧 ,  王忠保 ,  盛之林 ,  罗学涛 ,  盛旺 ,  李岩 ,  邹啟鹏 ,  陈炜南

IPC: C30B15/00 ,  C30B29/06 ,  C30B15/04

Abstract: 一种调整冷却工艺降低掺硼单晶硅BMD的方法，采用提升晶棒拉速，按照预定的冷却工艺拉速将晶棒提升至炉筒内；提升氩气流量，按照预定的冷却工艺流量将氩气通入到炉筒内；缩短冷却时间，按照预定的冷却时间在炉筒内对晶棒进行冷却的方式，通过改善冷却工艺拉速、通入到炉筒内的氩气流量、以及冷却时间，使BMD降低至规格线要求，保证了晶棒较高的合格率。