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公开(公告)号:CN117856656A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202311805787.4
申请日:2023-12-25
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性铰链的抬升机构及纳米级位移台,该抬升机构包括柔性铰链体、第一压电驱动件和两个固定铰链,柔性铰链体上形成有变形槽,柔性铰链体包括支撑段、抬升段和两个变形段,支撑段、抬升段及两个变形段合围形成变形槽,两个固定铰链分别插设于两个变形段,支撑段的底部安装有第一压电驱动件,且第一压电驱动件的两端分别穿设于两个变形端并分别与两个固定铰链一一对应抵接。本发明通过柔性铰链体、第一压电驱动件和两个固定铰链,使Z向的纳米级位移不用依靠多个串联的驱动机构实现,更利于控制与抬升段直接接触的物体在Z向的抬升精度,为纳米级位移台提供了体积更小且更利于控制的Z向驱动机构,提高了纳米位移台的适用范围。
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公开(公告)号:CN119050239A
公开(公告)日:2024-11-29
申请号:CN202411524738.8
申请日:2024-10-30
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L33/48 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种巨量打印方法及装置,涉及LED技术领域,巨量打印方法包括:获取打印位置列表,打印位置列表包括一个或多个按照预设优先级排列的打印位置;获取打印速度差值;控制目标衬板按照预设优先级依次移动至打印位置;每移动至一处打印位置时,控制滚筒复位至起始位置,并控制滚筒与目标衬板之间以打印速度差值的相对速度移动,以使滚筒将临时衬板上的LED元件沾取至目标衬板上;本发明的技术方案使目标衬板和滚筒同时移动,从而实现调整LED元件的配置间隔,满足全彩色显示面板的生产条件;此外,还能够通过调节LED元件的配置间隔满足不同像素密度显示面板的生产要求,进而提升灵活度和生产效率。
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公开(公告)号:CN117810158A
公开(公告)日:2024-04-02
申请号:CN202311740959.4
申请日:2023-12-15
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/687 , H01L21/66
Abstract: 本发明涉及精密设备领域,特别公开一种纳米载物台和晶圆缺陷检测设备,所述纳米载物台包括驱动器和负载平台,所述驱动器包括外壳、转动件及多个压电陶瓷,所述外壳具有安装槽;所述转动件和多个所述压电陶瓷均安装于所述安装槽内,多个所述压电陶瓷环绕所述安装槽的周缘间隔排布,且所述转动件位于所述安装槽的中心位置,并与多个所述压电陶瓷间隔设置;多个所述压电陶瓷用于被施加锯齿波电流;所述负载平台与所述转动件背向所述安装槽的槽底的一端连接,以使所述负载平台通过所述转动件可相对所述外壳转动;且所述负载品台与多个所述压电陶瓷连接。本发明技术方案能在提升纳米载物台的负载能力的基础上,还能保持纳米载物台的移动精度。
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公开(公告)号:CN115407181B
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202211359461.9
申请日:2022-11-02
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开一种LED芯片无损检测装置,LED芯片无损检测装置包括电源、导电液出液机构及检测机构,导电液出液机构包括液体压力控制器和微流控芯片,液体压力控制器和电源分别与微流控芯片连接;微流控芯片设有多列用于流通正极导电液的第一导流孔和多列用于流通负极导电液的第二导流孔,液体压力控制器与一列第一导流孔和一列第二导流孔连通,以控制正极导电液在第一导流孔的流通及负极导电液在第二导流孔的流通;检测机构包括与微流控芯片间隔设置的支撑架和光学传感器,支撑架设有凹槽,光学传感器设于凹槽内,凹槽的槽口放置装载有多个LED芯片的晶圆。本发明技术方案通过导电液出液机构代替探头,无需更换探头,提高LED芯片无损检测装置的检测效率。
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公开(公告)号:CN118943070A
公开(公告)日:2024-11-12
申请号:CN202411414026.0
申请日:2024-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L33/00
Abstract: 本发明公开了一种巨量转移装置及其转移控制方法,涉及转移技术领域,巨量转移装置包括底座、主控器、移动机构、静电转移头、源基板及目标基板;主控器和移动机构设于底座,移动机构与主控器电连接;静电转移头设于移动机构的端部;静电转移头设有与主控器电连接的多个电极凸台;源基板设于底座,并与主控器电连接;源基板具有多个放置位,每一放置位用于放置一个待转移的Micro LED芯片;目标基板设于底座,并与主控器电连接;目标基板具有多个转移位,转移位用于放置转移后的Micro LED芯片,每一转移位设有一个与主控器电连接的传感器,传感器用于检测在转移位上的Micro LED芯片的点亮情况。本发明提供的技术方案实现巨量选择性转移的同时,还提高转移精确度。
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公开(公告)号:CN118943070B
公开(公告)日:2025-01-10
申请号:CN202411414026.0
申请日:2024-10-11
Applicant: 季华实验室
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H10H20/01
Abstract: 本发明公开了一种巨量转移装置及其转移控制方法,涉及转移技术领域,巨量转移装置包括底座、主控器、移动机构、静电转移头、源基板及目标基板;主控器和移动机构设于底座,移动机构与主控器电连接;静电转移头设于移动机构的端部;静电转移头设有与主控器电连接的多个电极凸台;源基板设于底座,并与主控器电连接;源基板具有多个放置位,每一放置位用于放置一个待转移的Micro LED芯片;目标基板设于底座,并与主控器电连接;目标基板具有多个转移位,转移位用于放置转移后的Micro LED芯片,每一转移位设有一个与主控器电连接的传感器,传感器用于检测在转移位上的Micro LED芯片的点亮情况。本发明提供的技术方案实现巨量选择性转移的同时,还提高转移精确度。
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公开(公告)号:CN117970082A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202311737927.9
申请日:2023-12-15
Applicant: 季华实验室
IPC: G01R31/312 , G01M11/02
Abstract: 本发明涉及精密设备领域,特别公开一种LED芯片非接触式检测装置,该LED芯片非接触式检测装置包括底座、驱动机构、导通机构及检测机构,驱动机构设于底座;导通机构包括上平板电容器和下平板电容器,上平板电容器与驱动机构连接,上平板电容器设有导电部;下平板电容器安装于底座,下平板电容器用于放置待检测的LED芯片;导电部和下平板电容器用于分别与电压源的两端电连接;检测机构设于底座,检测机构位于下平板电容器和底座之间,用于检测LED芯片的发光情况;其中,驱动机构带动导电部移动至与下平板电容器正对时,以使位于下平板电容器上的LED芯片导通发光。本发明技术方案不受电容供电电源的影响还能提高LED芯片非接触式检测装置的检测效率。
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公开(公告)号:CN115407181A
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202211359461.9
申请日:2022-11-02
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开一种LED芯片无损检测装置,LED芯片无损检测装置包括电源、导电液出液机构及检测机构,导电液出液机构包括液体压力控制器和微流控芯片,液体压力控制器和电源分别与微流控芯片连接;微流控芯片设有多列用于流通正极导电液的第一导流孔和多列用于流通负极导电液的第二导流孔,液体压力控制器与一列第一导流孔和一列第二导流孔连通,以控制正极导电液在第一导流孔的流通及负极导电液在第二导流孔的流通;检测机构包括与微流控芯片间隔设置的支撑架和光学传感器,支撑架设有凹槽,光学传感器设于凹槽内,凹槽的槽口放置装载有多个LED芯片的晶圆。本发明技术方案通过导电液出液机构代替探头,无需更换探头,提高LED芯片无损检测装置的检测效率。
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公开(公告)号:CN114134028B
公开(公告)日:2022-05-10
申请号:CN202210111379.8
申请日:2022-01-29
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及微量注射技术领域,公开了一种细胞显微注射装置,所述细胞显微注射装置包括具有通过第一通道连通的储液腔室、安装腔室的外壳,固定在外壳上并与安装腔室连通的注射头、注射结构以及至少两个单向阀;其中注射结构固定于安装腔室内,中间内部设有注射腔、第二通道和第三通道;环注射腔的外侧壁上设有压电陶瓷环。本申请抛弃了传统机械结构,以压电陶瓷环沿径向方向收缩或扩张以带动注射腔体积变动,从而完成高精度、高分辨率位移,保证了单次压缩注射结构注射的液体体积可达到皮升级。且通过分段控制解决惯性流问题,从而实现高精度皮升级定量注射。同时还具备操作简单、方便拆卸清洗维护等优点。
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公开(公告)号:CN114134028A
公开(公告)日:2022-03-04
申请号:CN202210111379.8
申请日:2022-01-29
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明涉及微量注射技术领域,公开了一种细胞显微注射装置,所述细胞显微注射装置包括具有通过第一通道连通的储液腔室、安装腔室的外壳,固定在外壳上并与安装腔室连通的注射头、注射结构以及至少两个单向阀;其中注射结构固定于安装腔室内,中间内部设有注射腔、第二通道和第三通道;环注射腔的外侧壁上设有压电陶瓷环。本申请抛弃了传统机械结构,以压电陶瓷环沿径向方向收缩或扩张以带动注射腔体积变动,从而完成高精度、高分辨率位移,保证了单次压缩注射结构注射的液体体积可达到皮升级。且通过分段控制解决惯性流问题,从而实现高精度皮升级定量注射。同时还具备操作简单、方便拆卸清洗维护等优点。
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