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公开(公告)号：CN106439197A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610859497.1
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明提出一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在电磁阀阀座上的多个电磁阀，互锁装置包括：输入接口，输入接口与总线耦合器相连，以接收总线耦合器传输的电磁阀控制指令；输出接口，输出接口与通过电磁阀阀座与多个电磁阀相连；控制器，控制器用于根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。本发明能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。本发明还提出了一种模块化总线式电磁阀组。
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公开(公告)号：CN106439197B
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201610859497.1
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明提出一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在电磁阀阀座上的多个电磁阀，互锁装置包括：输入接口，输入接口与总线耦合器相连，以接收总线耦合器传输的电磁阀控制指令；输出接口，输出接口与通过电磁阀阀座与多个电磁阀相连；控制器，控制器用于根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。本发明能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。本发明还提出了一种模块化总线式电磁阀组。
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公开(公告)号：CN106737055A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611092859.5
申请日：2016-12-01
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
CPC classification number: B24B37/345 , B24B27/0076
Abstract: 本发明公开了一种化学机械抛光机及用于其的抛光组件，所述抛光组件包括：下支架、上支架、驱动转塔和两个抛光头组件，下支架上设有工作台和抛光盘；上支架架设在下支架上；驱动转塔悬挂在上支架上且驱动转塔的至少一部分相对于下支架可枢转；两个抛光组件分别设在驱动转塔上，以在驱动转塔的枢转下在与工作台位置对应的装卸位置和与抛光盘位置对应的抛光位置之间可移动，其中，当两个抛光头组件中的其中一个位于装卸位置时，另一个位于抛光位置。根据本发明实施例的用于化学机械抛光机的抛光组件，一个抛光头组件进行抛光时，另一个抛光头组件可以执行装卸晶圆，两个抛光头组件可以交替抛光，从而可以持续不间断工作，进而可以提高工作效率。
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公开(公告)号：CN106625207A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201610854420.5
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B37/34 , B24B55/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种晶圆片的卸片方法、辅助装置、装置和具有其的CMP设备，所述晶圆片的卸片方法包括以下步骤：将所述晶圆片运载至卸载面的上方；释放所述晶圆片以使所述晶圆片朝向所述卸载面运动，并在所述晶圆片运动的过程中朝所述晶圆片的下表面喷射液体以提供所述晶圆片运动的缓冲力。根据本发明实施例的晶圆片的卸片方法,能够防止晶圆片在卸片时被划伤和摔碎，从而可以提高晶圆片的良率，提高产能和效率，减少停机维护的次数，降低成本。
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公开(公告)号：CN106625207B
公开(公告)日：2018-11-20
申请号：CN201610854420.5
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B37/34 , B24B55/00 , H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种晶圆片的卸片方法、辅助装置、装置和具有其的CMP设备，所述晶圆片的卸片方法包括以下步骤：将所述晶圆片运载至卸载面的上方；释放所述晶圆片以使所述晶圆片朝向所述卸载面运动，并在所述晶圆片运动的过程中朝所述晶圆片的下表面喷射液体以提供所述晶圆片运动的缓冲力。根据本发明实施例的晶圆片的卸片方法,能够防止晶圆片在卸片时被划伤和摔碎，从而可以提高晶圆片的良率，提高产能和效率，减少停机维护的次数，降低成本。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106425828A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610854416.9
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B37/005 , B24B37/34 , B24B49/16 , B24B49/00 , B24B55/00
CPC classification number: B24B37/005 , B24B37/34 , B24B37/345 , B24B49/00 , B24B49/16 , B24B55/00
Abstract: 本发明公开了一种CMP设备抛光头掉片检测方法和系统，该方法包括：在抛光头真空抓片的过程以及载片传送的过程中，监测所述抛光头的抓片区域的真空吸附压力；如果所述真空吸附压力超过预定压力阈值，则认定所述抛光头掉片，并控制停止运行所述抛光头。本发明具有如下优点：实时检测抓片区域的压力，并对这些区域的压力变化进行比较分析，以此为条件来判断是否发生掉片，从而避免对抛光头、抛光盘以及挡板造成损伤，提高产能和效率。
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公开(公告)号：CN206221780U
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201621086278.6
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本实用新型提出一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在电磁阀阀座上的多个电磁阀，互锁装置包括：输入接口，输入接口与总线耦合器相连，以接收总线耦合器传输的电磁阀控制指令；输出接口，输出接口与通过电磁阀阀座与多个电磁阀相连；控制器，控制器用于根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。本实用新型能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。本实用新型还提出了一种模块化总线式电磁阀组。
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公开(公告)号：CN206105601U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621085173.9
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B37/005 , B24B37/34 , B24B49/16 , B24B49/00 , B24B55/00
Abstract: 本实用新型公开了一种CMP设备抛光头掉片检测系统，包括：压力监测模块，压力监测模块与抛光头相连，以在抛光头真空抓片的过程以及载片传送的过程中，监测所述抛光头的抓片区域的真空吸附压力；控制模块，控制模块分别与压力监测模块和抛光头的电子控制单元相连，以在真空吸附压力超过预定压力阈值时则判认定抛光头掉片，并在认定抛光头掉片后控制停止运行抛光头。本实用新型具有如下优点：实时检测抓片区域的压力，并对这些区域的压力变化进行比较分析，以此为条件来判断是否发生掉片，从而避免对抛光头、抛光盘以及挡板造成损伤，提高产能和效率。
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公开(公告)号：CN206105866U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621086277.1
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
Abstract: 本实用新型公开了一种多机械手重合工作区域的检测装置，包括：第一伺服电机检测装置，包括第一和第二检测器，其间隔地设置在第一导轨上且位于重叠区域外；第二伺服电机检测装置，包括第三检测器，其设置在第二导轨上且位于重叠区域的边界，其中，第一导轨和第二导轨在第一方向上部分重叠以形成重叠区域；控制器，分别与第一伺服电机检测装置和第二伺服电机检测装置相连，以根据第一伺服电机在第一导轨上的运动方向和第二伺服电机在第二导轨上的位置确定对应于第一伺服电机的机械手和对应于第二伺服电机的机械手是否存在碰撞风险。本实用新型的多机械手重合工作区域的检测装置可以实现多机械手在重合工作区域有先后次序的工作。
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公开(公告)号：CN206105607U
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201621085829.7
申请日：2016-09-27
Applicant: 天津华海清科机电科技有限公司 , 清华大学
IPC: B24B37/34 , B24B55/00 , H01L21/677
Abstract: 本实用新型公开了一种晶圆片的卸片辅助装置、卸片装置和具有其的CMP设备，所述晶圆片的卸片辅助装置包括：托盘、卸载支架和喷头，卸载支架设在托盘上，卸载支架的上表面形成有用于承接晶圆片的卸载面，卸载面上设有上下贯通的过水口；喷头设在托盘上且位于卸载面下方，喷头适于喷出经过过水口且喷射至晶圆片的下表面的液体。根据本实用新型的晶圆片的卸片辅助装置，可以在晶圆片卸片时提供辅助，在卸片过程中向晶圆片的下表面喷射液体，能够为晶圆片提供缓冲，缓解晶圆片所受的冲击力，可以有效防止晶圆片被划伤和摔碎，从而可以提高晶圆片的良率，提高产能和效率，减少停机维护的次数，降低成本。
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