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公开(公告)号：CN1796001A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200510120262.2
申请日：2005-11-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。
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公开(公告)号：CN1970168B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200610141450.8
申请日：2006-09-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 铃木聪
Abstract: 一种涂敷装置，具有：涂敷头，其向基板(9)连续喷出有机EL液；头移动机构及基板移动机构，其让涂敷头相对于基板(9)在主扫描方向及副扫描方向上进行相对移动；控制部，其控制上述这些机构。在涂敷装置中，由控制部控制各机构，在基板(9)上的涂敷区域(91)涂敷有机EL液的同时，在副扫描方向上与涂敷头相对移动的基板(9)上的终端侧，在涂敷区域(91)外侧的非涂敷区域(92)涂敷有机EL，液。由此，可以在基板(9)的涂敷区域(91)中的有机EL液的涂敷的终端侧，对环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度变高，有机EL液的干燥时间短于被涂敷在其他区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。
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公开(公告)号：CN101154566A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710161614.8
申请日：2007-09-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种使用包含微泡或纳米微泡的处理液的基板处理装置和基板处理方法，能使微泡或纳米微泡对基板有效地发挥作用。微泡清洗处理部(40)通过对注入到被压送的清洗液中的氮气的流量进行调节，能够调节清洗液中所包含的微泡的尺寸。因而，能够对应于成为除去对象的微粒的尺寸，大量地供应尺寸最佳的微泡，能够使微泡对基板有效地发挥作用。
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公开(公告)号：CN1970168A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200610141450.8
申请日：2006-09-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Inventor： 铃木聪
Abstract: 一种涂敷装置，具有：涂敷头，其向基板(9)连续喷出有机EL液；头移动机构及基板移动机构，其让涂敷头相对于基板(9)在主扫描方向及副扫描方向上进行相对移动；控制部，其控制上述这些机构。在涂敷装置中，由控制部控制各机构，在基板(9)上的涂敷区域(91)涂敷有机EL液的同时，在副扫描方向上与涂敷头相对移动的基板(9)上的终端侧，在涂敷区域(91)外侧的非涂敷区域(92)涂敷有机EL液。由此，可以在基板(9)的涂敷区域(91)中的有机EL液的涂敷的终端侧，对环境中的有机EL液的溶媒成分的浓度变高，有机EL液的干燥时间短于被涂敷在其他区域的有机EL液的干燥时间的情况进行抑制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100405559C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200410047378.3
申请日：2004-06-03
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: H01L21/3213 , H01L21/306 , C23F1/00
Abstract: 本发明提供一种为了适应于基板的大型化，但不必将处理槽与之相应地大型化，也不会产生如浸渍处理时那样的蚀刻不良的装置。装置的构成包括：第一处理槽(14)；配置在第一处理槽(14)内、支承并搬运基板(W)的搬运辊(20)；配置在基板搬运路径的上方、向基板(W)的表面上喷出蚀刻液的喷射喷嘴(22)；与第一处理槽连接设置的第二处理槽(28)；配置在第二处理槽(28)内、支承并搬运基板(W)的搬运辊(30)；向从第一处理槽(14)内被搬出、并被搬入到第二处理槽(28)内的基板(W)的表面供应蚀刻液、在基板(W)的整个表面上装满蚀刻液的排出喷嘴(32)。
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公开(公告)号：CN1740828A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN200510092681.X
申请日：2005-08-18
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G02B5/201 , G02B5/223 , G03F7/0007 , G03F7/2022 , H01L27/3211 , H01L27/3295 , H01L51/0005 , H01L51/0016 , H01L51/5284 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种在制造彩色液晶显示器及有机EL显示装置等时可以很容易地只在透明玻璃基板上的有效区域内形成滤色部或有机EL层等的着色层的方法。包括：利用遮光性材料在透明基板表面的有效区域上形成规定图形形状的微细隔断壁，在非有效区域上覆盖遮光性材料的工序；使喷射着色材料的喷嘴相对于透明基板进行相对扫描，向由微细隔断壁隔断成的微细凹部内涂敷含有着色剂和感光性树脂的多种颜色的着色材料的工序；从透明基板的背面侧进行曝光，使涂敷在微细凹部内的多种颜色的着色材料固化的工序；对透明基板的表面侧进行显影，使涂敷在非有效区域上的未固化的着色材料溶解而除去的工序。
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公开(公告)号：CN1574251A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410047378.3
申请日：2004-06-03
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
IPC: H01L21/3213 , H01L21/306 , C23F1/00
Abstract: 本发明提供一种为了适应于基板的大型化，但不必将处理槽与之相应地大型化，也不会产生如浸渍处理时那样的蚀刻不良的装置。装置的构成包括：第一处理槽14；配置在第一处理槽14内、支承并搬运基板W的搬运辊20；配置在基板搬运路径的上方、向基板W的表面上喷出蚀刻液的喷射喷嘴22；与第一处理槽连接设置的第二处理槽28；配置在第二处理槽28内、支承并搬运基板W的搬运辊30；向从第一处理槽14内被搬出、并被搬入到第二处理槽28内的基板W的表面供应蚀刻液、在基板W的整个表面上装满蚀刻液的排出喷嘴32。
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公开(公告)号：CN100406139C
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200510120262.2
申请日：2005-11-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。
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公开(公告)号：CN100354662C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200510092681.X
申请日：2005-08-18
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
CPC classification number: G02B5/201 , G02B5/223 , G03F7/0007 , G03F7/2022 , H01L27/3211 , H01L27/3295 , H01L51/0005 , H01L51/0016 , H01L51/5284 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种在制造彩色液晶显示器及有机EL显示装置等时可以很容易地只在透明玻璃基板上的有效区域内形成滤色部或有机EL层等的着色层的方法。包括：利用遮光性材料在透明基板表面的有效区域上形成规定图形形状的微细隔断壁，在非有效区域上覆盖遮光性材料的工序；使喷射着色材料的喷嘴相对于透明基板进行相对扫描，向由微细隔断壁隔断成的微细凹部内涂敷含有着色剂和感光性树脂的多种颜色的着色材料的工序；从透明基板的背面侧进行曝光，使涂敷在微细凹部内的多种颜色的着色材料固化的工序；对透明基板的表面侧进行显影，使涂敷在非有效区域上的未固化的着色材料溶解而除去的工序。
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