固体摄像元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN100552966C

    公开(公告)日:2009-10-21

    申请号:CN200610139610.5

    申请日:2006-09-26

    CPC classification number: H01L27/14627 H01L27/14685

    Abstract: 本发明主要目的在于提供一种由于具有多个像素共有结构,因此即使是受光元件的中心位置和微透镜的中心位置俯视来看不一致时,也能够效率良好地进行聚光的固体摄像元件。本发明的固体摄像元件至少具备:接收被摄体光并变换为光信号的受光元件;用于提高对上述受光元件的聚光率的微透镜;和进行由上述受光元件C产生的光信号的读出的信号读出电路,由于具有多个上述受光元件共用一个上述信号读出电路的多个像素共有结构,因此上述受光元件的中心位置和上述微透镜的中心位置俯视来看不一致,其特征在于,具有最大膜厚位置与中心位置不同的微透镜,对于平行光的上述微透镜的聚光位置为上述受光元件上。通过提供上述的固体摄像元件来解决上述课题。

    压印用模板基板的制造方法、压印用模板的制造方法、以及模板

    公开(公告)号:CN117976523A

    公开(公告)日:2024-05-03

    申请号:CN202410162351.6

    申请日:2017-05-24

    Abstract: 提供压印用模板基板的制造方法、压印用模板的制造方法及模板。压印用模板基板的制造方法依次包括:具遮光材料层的多级模板基板准备步骤,准备具有第1台阶构造及第2台阶构造且在第1台阶构造的上表面之上及第2台阶构造的上表面之上具有遮光材料层的具遮光材料层的多级模板基板;树脂层形成步骤,在形成在第1台阶构造的上表面之上的遮光材料层之上形成第1树脂层,在形成在第2台阶构造的上表面之上的遮光材料层之上形成第2树脂层;第2树脂层去除步骤,一面将第1树脂层保留,一面将第2树脂层去除;及遮光膜形成步骤,一面将形成在第1台阶构造的上表面之上的遮光材料层保留,一面将形成在第2台阶构造的上表面之上的遮光材料层去除。

    模板和模板坯
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109155237B

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN201780031739.0

    申请日:2017-05-24

    Abstract: 为了一面维持必要的转印图案区域的高度一面抑制压印时曝光的光泄露的影响,在用于将凹凸构造的转印图案(23)转印到被转印基板之上的树脂的压印光刻的模板(1)和模板坯中构成为,在基部(10)的主面之上形成第1台阶构造阶构造(22),并利用遮光膜(21)覆盖上述第1台阶构造(21)的上表面的、上述第2台阶构造(22)的外侧的区域。(21),且在上述第1台阶构造(21)之上形成第2台

    固体摄像元件及其制造方法

    公开(公告)号:CN1941391A

    公开(公告)日:2007-04-04

    申请号:CN200610139610.5

    申请日:2006-09-26

    CPC classification number: H01L27/14627 H01L27/14685

    Abstract: 本发明主要目的在于提供一种由于具有多个像素共有结构,因此即使是受光元件的中心位置和微透镜的中心位置俯视来看不一致时,也能够效率良好地进行聚光的固体摄像元件。本发明的固体摄像元件至少具备:接收被摄体光并变换为光信号的受光元件;用于提高对上述受光元件的聚光率的微透镜;和进行由上述受光元件C产生的光信号的读出的信号读出电路,由于具有多个上述受光元件共用一个上述信号读出电路的多个像素共有结构,因此上述受光元件的中心位置和上述微透镜的中心位置俯视来看不一致,其特征在于,具有最大膜厚位置与中心位置不同的微透镜,对于平行光的上述微透镜的聚光位置为上述受光元件上。通过提供上述的固体摄像元件来解决上述课题。

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