公开(公告)号：CN101069840B

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200710042334.5

申请日：2007-06-21

申请人： 复旦大学

发明人： 崔晓莉 ,  朱蕾 ,  沈杰 ,  杨锡良 ,  章壮健

IPC分类号： B01J21/06 ,  B01J21/18

摘要： 本发明属于纳米二氧化钛光催化与光电化学技术领域，具体为一种可见光活性的碳掺杂二氧化钛薄膜的制备方法。该方法采用反应磁控溅射镀膜系统，其步骤包括制备碳钛镶嵌靶；将工作室抽至10-3Pa以下的真空，再依次通过适当比例的氧气和氩气，控制溅射电流为0.5～1A，溅射时间为0.5～3小时，即制得碳掺杂二氧化钛薄膜。本发明制备方法简单，制得薄膜具有可见光活性，可应用于太阳能光电转换和光催化分解水等方面。

公开(公告)号：CN100415930C

公开(公告)日：2008-09-03

申请号：CN200510025957.2

申请日：2005-05-19

申请人： 复旦大学

发明人： 张群 ,  李喜峰 ,  缪维娜 ,  黄丽 ,  章壮健

IPC分类号： C23C14/35 ,  C23C14/08

摘要： 本发明是一种基板温度为0-30℃下利用反应直流磁控溅射法制备非晶掺钼氧化铟(IMO)透明导电氧化物薄膜的方法。本发明以普通玻璃为基板，利用掺钼铟金属镶嵌靶，在0-30℃基板温度下通过反应直流磁控溅射技术，在适当的工作压强和氧分压、溅射电流和溅射电压的条件下制备具有非晶结构的IMO薄膜。所制备的薄膜具有低电阻率、高透射率和高载流子迁移率等优良的光电特性。本发明方法获得的薄膜在新型光电器件领域具有良好应用前景。

公开(公告)号：CN1594497A

公开(公告)日：2005-03-16

申请号：CN200410025433.9

申请日：2004-06-24

申请人： 复旦大学

发明人： 方应翠 ,  陆明 ,  章壮健

IPC分类号： C09K11/59

摘要： 本发明为一种对Si量子点掺杂的方法。具体是采用真空蒸发技术在已经制备好的嵌有Si量子点的SiO2薄膜表面上蒸镀一层TeF3薄膜，然后低温退火，使CeF3扩散到量子点周围，或量子点中。经本发明掺杂的Si量子点的荧光强度大为提高。本发明方法所用设备普通，工艺步骤简单，成本低廉。

公开(公告)号：CN100449816C

公开(公告)日：2009-01-07

申请号：CN200510027788.6

申请日：2005-07-15

申请人： 复旦大学

发明人： 张群 ,  李喜峰 ,  章壮健 ,  黄丽 ,  缪维娜

IPC分类号： H01L51/10 ,  H01L51/40 ,  H01L21/283

摘要： 本发明是一种高功函数铂钨共掺氧化铟(In2O3:Pt，W)/掺钨氧化铟(IWO)双层透明导电氧化物薄膜电极及其制备方法。本发明以普通玻璃为基板，利用掺钨金属铟镶嵌靶和铂+掺钨金属铟镶嵌靶，通过反应直流磁控溅射技术，在本发明的工作压强和氧分压、溅射电流和溅射电压的条件下制备具有高功函数透明氧化物In2O3:Pt，W/IWO薄膜电极。所制备的薄膜具有低电阻率、高透射率和高功函数等优良的光电特性。通过掺铂含量和In2O3:Pt，W层厚度调制透明导电氧化物薄膜的功函数。本发明获得的高功函数透明导电氧化物薄膜电极在新型有机光电器件领域具有良好的应用前景。

公开(公告)号：CN101001109A

公开(公告)日：2007-07-18

申请号：CN200710036376.8

申请日：2007-01-11

申请人： 复旦大学

发明人： 贾波 ,  肖倩 ,  章骅 ,  唐璜 ,  杨锡良 ,  章壮健

IPC分类号： H04B10/08 ,  H04B10/12

摘要： 本发明是一种抑制声波和振动对光纤传感系统中光纤光路影响的方法及实现该方法的设备。本发明的抑制声波和振动对光纤传感系统中光纤光路影响的方法，是将光纤传感系统的光路通过带阻尼元件的支架悬在真空容器中。本发明的装置，由上支架和下支架通过圆柱型支架体联接形成支架整体，上下支架均有阻尼元件固定在金属柱上，需要隔离声波和振动的光纤光路系统置于上支架，上述装置通过金属柱固定在密封的真空容器中。本发明可以很大程度抑制环境噪声和振动对光纤光路的影响，有效地提高了光纤传感系统的稳定性和可靠性，大大增强了系统的环境适用性。本发明的方法不仅可以使用于起传输作用的光纤光路，也适用于某些敏感光纤光路。

公开(公告)号：CN1597587A

公开(公告)日：2005-03-23

申请号：CN200410017608.1

申请日：2004-08-20

申请人： 复旦大学

发明人： 崔晓莉 ,  沃松涛 ,  蔡臻炜 ,  杨锡良 ,  章壮健

IPC分类号： C03C17/27 ,  C23C14/35 ,  C23C14/14 ,  B01J21/06

摘要： 本发明为一种湿热氧化制备二氧化钛光催化薄膜的方法。具体步骤是以通常玻璃为基板，先由磁控溅射法镀一层纯钛膜，再通过湿热氧化法制得二氧化钛光催化薄膜。湿热氧化是在带水蒸汽的空气或氧气中将钛层加热氧化至透明。本发明方法简单，工艺稳定性好，是一种低成本的制备二氧化钛光催化薄膜的方法。

公开(公告)号：CN1191592C

公开(公告)日：2005-03-02

申请号：CN00115362.5

申请日：2000-04-11

申请人： 复旦大学

发明人： 章壮健 ,  杨锡良 ,  陈华仙 ,  孟杨 ,  沈杰

IPC分类号： H01B5/14 ,  H01L31/00 ,  C23C14/22 ,  C23C14/08

摘要： 本发明涉及一种新的透明导电薄膜及其制备方法。该薄膜以氧化铟为主氧化物，以六价元素钼或钨为掺杂元素。制备时，在玻璃基板上先镀一层氧化铟作为防扩散阻挡层，然后掺杂，控制掺杂元素的掺入量，制得透明导电薄膜氧化铟钼(钨)。该薄膜具有良好的导电性能，制备工艺也简单。

公开(公告)号：CN101054711A

公开(公告)日：2007-10-17

申请号：CN200710040493.1

申请日：2007-05-10

申请人： 复旦大学

发明人： 崔晓莉 ,  杨艳超 ,  李志州 ,  章壮健

IPC分类号： C25D11/26 ,  B01J21/06

摘要： 本发明属于二氧化钛薄膜制备技术领域，具体为一种交流电氧化金属钛制备二氧化钛薄膜的方法。该方法使用交流电解装置，以金属钛片作为工作电极，以石墨为对电极，调节输入电压，以调节流过金属钛片的电流，直接氧化金属钛片，得到钛基二氧化钛薄膜。氧化时的温度为0～100℃，电压为10－50V，时间为1～30分钟。本发明方法使用设备和工艺简单，控制方便，制备的TiO2薄膜光电性能良好。

公开(公告)号：CN1886030A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200610028674.8

申请日：2006-07-06

申请人： 复旦大学

发明人： 崔晓莉 ,  沈杰 ,  杨锡良 ,  章壮健

IPC分类号： H05K3/06 ,  H05K3/00

摘要： 本发明属于微电子技术领域，具体涉及一种印刷电路板布线工艺。该工艺利用表面具有光催化活性的纳米二氧化钛，以聚酰亚胺(PI)或聚酯(PET)薄膜为基板，通过掩膜选择性还原被紫外光照射部位的金属离子，形成微细金属线路，化学镀铜后得到微细电子线路。该工艺所需设备简单，制得的微细线路完全达到电子线路的要求。

公开(公告)号：CN1228267C

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN02150721.X

申请日：2002-11-26

申请人： 复旦大学

发明人： 任达森 ,  崔晓莉 ,  沃松涛 ,  杨锡良 ,  章壮健

IPC分类号： C03C17/00 ,  C03C17/22 ,  C03C17/30

摘要： 本发明是一种纳米二氧化钛自清洁玻璃的低温处理方法。它以二氧化硅、锐钛矿型溶胶纳米材料为基础组份，采用提拉法在玻璃基板表面形成薄膜，在室温下干燥、固化，或者在小于300℃温度下处理后自然冷却。所制备的自清洁玻璃，具有良好的光催化性能和超亲水性能，且透光率较高，透光均匀。本发明方法设备简单，投资小，易于工业化生产。