• 专利标题: 一种基于纳米TiO2光催化性质的印制电路板布线工艺
  • 专利标题(英): Printed circuit board wiring technique based on nanometer TiO2 photocatalysis property
  • 申请号: CN200610028674.8
    申请日: 2006-07-06
  • 公开(公告)号: CN1886030A
    公开(公告)日: 2006-12-27
  • 发明人: 崔晓莉沈杰杨锡良章壮健
  • 申请人: 复旦大学
  • 申请人地址: 上海市邯郸路220号
  • 专利权人: 复旦大学
  • 当前专利权人: 复旦大学
  • 当前专利权人地址: 上海市邯郸路220号
  • 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
  • 代理商 陆飞; 盛志范
  • 主分类号: H05K3/06
  • IPC分类号: H05K3/06 H05K3/00
一种基于纳米TiO2光催化性质的印制电路板布线工艺
摘要:
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种印刷电路板布线工艺。该工艺利用表面具有光催化活性的纳米二氧化钛,以聚酰亚胺(PI)或聚酯(PET)薄膜为基板,通过掩膜选择性还原被紫外光照射部位的金属离子,形成微细金属线路,化学镀铜后得到微细电子线路。该工艺所需设备简单,制得的微细线路完全达到电子线路的要求。
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