发明公开
- 专利标题: 一种基于纳米TiO2光催化性质的印制电路板布线工艺
- 专利标题(英): Printed circuit board wiring technique based on nanometer TiO2 photocatalysis property
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申请号: CN200610028674.8申请日: 2006-07-06
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公开(公告)号: CN1886030A公开(公告)日: 2006-12-27
- 发明人: 崔晓莉 , 沈杰 , 杨锡良 , 章壮健
- 申请人: 复旦大学
- 申请人地址: 上海市邯郸路220号
- 专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人地址: 上海市邯郸路220号
- 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
- 代理商 陆飞; 盛志范
- 主分类号: H05K3/06
- IPC分类号: H05K3/06 ; H05K3/00
摘要:
本发明属于微电子技术领域,具体涉及一种印刷电路板布线工艺。该工艺利用表面具有光催化活性的纳米二氧化钛,以聚酰亚胺(PI)或聚酯(PET)薄膜为基板,通过掩膜选择性还原被紫外光照射部位的金属离子,形成微细金属线路,化学镀铜后得到微细电子线路。该工艺所需设备简单,制得的微细线路完全达到电子线路的要求。