公开(公告)号：CN111133380B

公开(公告)日：2024-03-19

申请号：CN201880062143.1

申请日：2018-09-25

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： I.塞沙德里 ,  E.A.德席尔瓦 ,  刘其俊 ,  池澄 ,  郭婧 ,  L.梅里汤普森

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明的实施方案提供了用于捕获胺的体系和方法。这又减轻了光致抗蚀剂中的不期望的浮渣和底脚效应。聚合物刷接枝到氮化硅表面上。所述聚合物刷的官能团和分子量分别提供质子和施加空间位阻以捕获从氮化硅表面扩散的胺。

公开(公告)号：CN111133380A

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：CN201880062143.1

申请日：2018-09-25

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： I.塞沙德里 ,  E.A.德席尔瓦 ,  刘其俊 ,  池澄 ,  郭婧 ,  L.梅里汤普森

IPC: G03F7/00

Abstract: 本发明的实施方案提供了用于捕获胺的体系和方法。这又减轻了光致抗蚀剂中的不期望的浮渣和底脚效应。聚合物刷接枝到氮化硅表面上。所述聚合物刷的官能团和分子量分别提供质子和施加空间位阻以捕获从氮化硅表面扩散的胺。