公开(公告)号：CN117129028A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311104854.X

申请日：2023-08-30

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 齐兵 ,  汪籽粒 ,  程建华 ,  孙伟淇 ,  管梦涵 ,  葛靖宇 ,  金莫寒 ,  郭广彦 ,  冯舒扬

IPC: G01D18/00

Abstract: 一种基于空间热流动态分析的MEMS器件温漂误差测试方法，它属于新型传感器件领域。本发明解决了现有测试方法的精准性低、测试控制实时性差的问题。本发明方法为：首先将MEMS器件安装于密闭的高低温箱内部，再将温度传感器安装在MEMS器件表面；再根据设计的温度控制间隔和温度控制时间将高低温箱内部的环境温度从MEMS器件的最低工作温度调整至最高工作温度，且在高低温箱内的环境温度上升的过程中实时记录MEMS器件环境温度和MEMS器件输出数据；将记录的MEMS器件输出数据与MEMS器件输出参考值作差，得到MEMS器件温漂误差数据。本发明方法可以应用于MEMS器件温漂误差测试。

公开(公告)号：CN117073721A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311036457.3

申请日：2023-08-16

Applicant: 哈尔滨工程大学

Inventor： 齐兵 ,  汪籽粒 ,  赵砚池 ,  孙伟淇 ,  管梦涵 ,  葛靖宇 ,  金莫寒 ,  郭广彦 ,  冯舒扬

IPC: G01C25/00 ,  G01C21/16 ,  G06F30/27 ,  G06F30/17 ,  G06N3/0499 ,  G06N3/048 ,  G06N3/08 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 基于热应力形变分析的MEMS惯性器件温漂误差估计方法，它属于新型微惯性器件领域。本发明解决了现有温漂误差估计方法的准确性和实时性差的问题。本发明采取的主要技术方案为：步骤一、根据MEMS惯性器件传感电路的梳齿结构，确定出引起MEMS惯性器件温漂误差的全部温度参量；步骤二、建立电容式MEMS惯性器件温漂误差模型，根据步骤一中确定出的温度参量构造训练数据集；利用训练数据集对MEMS惯性器件温漂误差模型进行训练；步骤三、根据MEMS惯性器件实际工作时的环境温度计算ΔT、ΔT2和ΔT‑1/2，将计算出的ΔT、ΔT2和ΔT‑1/2输入训练好的MEMS惯性器件温漂误差模型，利用MEMS惯性器件温漂误差模型输出实际的温漂误差。本发明方法可以应用于MEMS惯性器件温漂误差估计。