公开(公告)号：CN103852702A

公开(公告)日：2014-06-11

申请号：CN201310034628.9

申请日：2013-01-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 万幸仁 ,  奧野泰利 ,  叶凌彦 ,  施启元 ,  邵元辅 ,  蔡伟骏

IPC: G01R31/26

CPC classification number: H01L22/14 ,  H01L21/30625 ,  H01L22/34 ,  H01L29/0642 ,  H01L29/0649 ,  H01L29/161 ,  H01L29/66795

Abstract: 一种方法，包括使用四点探针头探测至少一个半导体鳍，四点探针头的四个探针引脚与所述至少一个半导体鳍接触。计算至少一个半导体鳍的电阻。通过电阻计算半导体鳍的载流子浓度。本发明还提供了确定半导体鳍中的载流子浓度的方法。

公开(公告)号：CN103852702B

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201310034628.9

申请日：2013-01-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 万幸仁 ,  奧野泰利 ,  叶凌彦 ,  施启元 ,  邵元辅 ,  蔡伟骏

IPC: G01R31/26

CPC classification number: H01L22/14 ,  H01L21/30625 ,  H01L22/34 ,  H01L29/0642 ,  H01L29/0649 ,  H01L29/161 ,  H01L29/66795

Abstract: 一种方法，包括使用四点探针头探测至少一个半导体鳍，四点探针头的四个探针引脚与所述至少一个半导体鳍接触。计算至少一个半导体鳍的电阻。通过电阻计算半导体鳍的载流子浓度。本发明还提供了确定半导体鳍中的载流子浓度的方法。