公开(公告)号：CN109818256A

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201811331139.9

申请日：2018-11-09

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 张俊霖 ,  童宇轩 ,  涂时雨 ,  张汉龙 ,  傅中其 ,  刘柏村 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: H01S5/026 ,  H01S5/028 ,  H01S5/14 ,  H01S5/50

Abstract: 本公开提供一种主振荡器功率放大器系统的对准方法。此方法包括将输入至主振荡器功率放大器系统的激光放大器链接部的泵功率输入斜升，直到泵功率输入达到操作泵功率输入电平；调整主振荡器功率放大器系统的种子激光的种子激光功率输出，直到种子激光功率输出在第一电平，其中第一电平小于操作种子激光功率输出电平；以及当泵功率输入在操作泵功率输入电平、并且种子激光功率输出在第一电平以及主振荡器功率放大器系统达到稳定操作热状态时，对主振荡器功率放大器系统执行第一光学对准程序。

公开(公告)号：CN111103766A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201911038537.6

申请日：2019-10-29

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 苏彦硕 ,  叶人豪 ,  叶展宏 ,  郑定亚 ,  童宇轩 ,  张俊霖 ,  张汉龙 ,  陈立锐 ,  郑博中

IPC: G03F7/20

Abstract: 本揭露是关于一种极紫外线微影方法。一种用于监控极紫外线光源中的冲击波的方法包括在极紫外线微影工具的极紫外线光源设备中用离子化辐射照射液滴，以产生电浆及侦测由电浆产生的冲击波。基于所侦测到的冲击波来调节极紫外线光源的一或多个操作参数。

公开(公告)号：CN110658693A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201910578244.0

申请日：2019-06-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 叶展宏 ,  陈振杰 ,  蔡政谚 ,  陈立锐 ,  童宇轩 ,  王文志 ,  陈信良

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种激光产生电浆极紫外辐射源设备及其错误恢复的方法、诊断该设备的RF产生器的方法。在一种诊断激光产生电浆极紫外(LPP EUV)辐射源设备的RF产生器的方法中，将测试系统连接至该LPP EUV辐射源设备的该RF产生器。通过改变该RF产生器的输入功率由该测试系统量测输出功率。使用计算机系统分析该已量测输出功率。基于该经分析的已量测输出功率来判定该RF产生器是否正适当地操作。

公开(公告)号：CN110658693B

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN201910578244.0

申请日：2019-06-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 叶展宏 ,  陈振杰 ,  蔡政谚 ,  陈立锐 ,  童宇轩 ,  王文志 ,  陈信良

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种激光产生电浆极紫外辐射源设备及其错误恢复的方法、诊断该设备的RF产生器的方法。在一种诊断激光产生电浆极紫外(LPP EUV)辐射源设备的RF产生器的方法中，将测试系统连接至该LPP EUV辐射源设备的该RF产生器。通过改变该RF产生器的输入功率由该测试系统量测输出功率。使用计算机系统分析该已量测输出功率。基于该经分析的已量测输出功率来判定该RF产生器是否正适当地操作。