晶片加工用带
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102234489A

    公开(公告)日:2011-11-09

    申请号:CN201010168120.4

    申请日:2010-04-26

    Abstract: 本发明提供一种可以降低切割时的芯片破裂及芯片缺损等的碎屑的晶片加工用带。晶片加工用带(10)具有由基材膜(12a)和形成于其上的粘合剂层(12b)构成的粘合膜(12)和层压在该粘合膜(12)上的粘接剂层(13)。粘合膜(12)的80℃的损耗角正切tanδfilm和粘接剂层(13)的80℃的损耗角正切tanδad的比tanδad/tanδfilm设定为5.0以下。可以将切割片(21)的旋转振动通过粘合膜(12)充分吸收。在切割时,粘接剂层(13)的切割片(21)的旋转振动引起的振动通过粘合剂层(12b)而降低,难以传递到半导体芯片(2)。

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