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公开(公告)号：CN115896718A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211263098.0
申请日：2022-10-14
申请人： 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学
摘要： 本申请属于涂层技术领域，尤其涉及一种TiBx涂层及其制备方法，TiBx涂层的制备方法包括如下步骤：预处理，对基体的表面进行预处理；沉积TiBx涂层，利用高功率脉冲磁控电源产生脉冲宽度在30μs至200μs的脉冲电流来溅射TiB2靶材，从而在基体的表面沉积TiBx涂层。TiBx涂层，采用上述的制备方法制备。本申请提供的一种TiBx涂层及其制备方法，利用高功率脉冲磁控电源来产生脉冲宽度在30μs至200μs之间的脉冲电流来溅射TiB2靶材，TiB2靶材的峰值电流密度增加，Ti+/B+束流比增加，从而降低了TiBx涂层B/Ti原子比，涂层残余应力降低、韧性增强，进而提高涂层的结合力。
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公开(公告)号：CN115612996B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202211153811.6
申请日：2022-09-21
申请人： 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学
摘要： 本申请涉及刀具涂层技术领域，特别涉及一种刀具、TiBx涂层及其制备方法和应用。该TiBx涂层制备方法包括以下步骤：在基体上沉积TiBx涂层：在Ar气氛中，高功率脉冲磁控溅射TiB2靶材，同时开启离子源辅助沉积，使TiBx涂层沉积于基体表面以制备TiBx涂层。该TiBx涂层制备方法通过高功率脉冲磁控溅射TiB2靶材，同时Ar+离子源辅助沉积TiBx涂层，通过简便的工艺和操作，即可实现TiBx涂层中组元含量原子比B/Ti的可控调节，制得的TiBx涂层具有结构致密、高硬度、高韧性、低应力的优异性能，使得该TiBx涂层可广泛应用于金属表面处理或金属加工中。
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公开(公告)号：CN118835209A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410884540.4
申请日：2024-07-03
申请人： 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学 , 厦门钨业股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步方法及磁控溅射方法，所述同步方法包括：磁控溅射时，N个阴极的脉冲电源等间隔循环输出，同时同步脉冲偏压电源的输出频率，实现阴极电源脉冲与偏压电源脉冲的同步；其中，N为≥1的整数；N个阴极的脉冲电源的输出频率f相同。本发明提供的同步方法能够缩短偏压充电时间，提高偏压占空比，增大有效偏压值；还能够使阴极峰值电流不发生叠加、扩大，降低转架与偏压打弧风险；此外，阴极各脉冲之间的间隔时间缩短，能够长时间保持沉积腔室内等离子体处于强束流以及高密度的状态，有利于提高成膜质量。
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公开(公告)号：CN116815120A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310794267.1
申请日：2023-06-30
申请人： 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学 , 厦门钨业股份有限公司
摘要： 本发明涉及一种Ti‑W‑B涂层及其制备方法和应用，所述Ti‑W‑B涂层为纳米结构涂层，所述Ti‑W‑B涂层的分子结构表达式为Ti1‑xWxBy，其中，x＝0.06‑0.55，y＝1.8‑3.5；所述制备方法包括：在惰性气氛下，采用TiB2靶材对基体进行磁控溅射，同时采用W靶材对基体进行高功率脉冲磁控溅射，在基体表面沉积得到Ti‑W‑B涂层。本发明提供的Ti‑W‑B涂层及其制备方法通过引入高离化的W离子，形成具有微观的TiBx/WBx纳米复合结构，能够提高涂层的硬度、韧性和润滑性，可广泛应用于金属表面处理或金属加工中。
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公开(公告)号：CN115612996A
公开(公告)日：2023-01-17
申请号：CN202211153811.6
申请日：2022-09-21
申请人： 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学
摘要： 本申请涉及刀具涂层技术领域，特别涉及一种刀具、TiBx涂层及其制备方法和应用。该TiBx涂层制备方法包括以下步骤：在基体上沉积TiBx涂层：在Ar气氛中，高功率脉冲磁控溅射TiB2靶材，同时开启离子源辅助沉积，使TiBx涂层沉积于基体表面以制备TiBx涂层。该TiBx涂层制备方法通过高功率脉冲磁控溅射TiB2靶材，同时Ar+离子源辅助沉积TiBx涂层，通过简便的工艺和操作，即可实现TiBx涂层中组元含量原子比B/Ti的可控调节，制得的TiBx涂层具有结构致密、高硬度、高韧性、低应力的优异性能，使得该TiBx涂层可广泛应用于金属表面处理或金属加工中。
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公开(公告)号：CN113555495B
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202110818290.0
申请日：2021-07-20
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种薄膜压力传感器及其制备方法与应用。本发明公开了一种薄膜压力传感器，包括：由下至上设置的金属基体、第一绝缘层、压阻敏感层、第二绝缘层和耐磨防护层；第一绝缘层和第二绝缘层之间还设置有电极层，电极层与压阻敏感层连接；本发明将电极层和压阻敏感层封装在第一绝缘层和第二绝缘层之间，可以起到绝缘和信号传输稳定的效果，耐磨防护层可以保障传感器不受外界加工环境的影响，使得传感器在恶劣的工作环境下亦可正常使用。压阻敏感层为Cu84Mn12Ni4。该薄膜压力传感器中Cu84Mn12Ni4压阻效应好，响应快，线性好，使得薄膜传感器压阻系数大，线性度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN117364020A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311147804.X
申请日：2023-09-06
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开了一种耐磨复合涂层及其制备方法和应用，属于表面防护与传感涂层技术领域。本发明提供的耐磨复合涂层，包括层叠的绝缘基体层和传感层；所述传感层含有金属氮化物，或金属氮化物与金属材料。本发明将金属氮化物作为传感层材料，得到的涂层材料能够起到在耐磨防护的同时也具备传感功能。以及，将金属材料作为传感层材料，可以进一步提高复合涂层的导电性和稳定性。本发明的复合涂层作为传感器，能对被集成元件所受到的应力、温度进行实时监测，还能对传感器和被集成元件进行防护，减少传感器和被集成元件所受到的损耗。
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公开(公告)号：CN114000115A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202111195151.3
申请日：2021-10-13
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明公开了一种Ti‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法，涉及过渡金属硼氮化物涂层的制备方法领域。本发明提供了一种Ti‑B‑N纳米复合涂层的制备方法，包括如下步骤：(1)将基体进行机械研磨、抛光、清洗处理；(2)使用高功率脉冲磁控电源，在基体上溅射TiB2靶，得到Ti‑B‑N纳米复合涂层。本发明通过控制脉冲宽度、N2的体积流量，采用HiPIMS制备得到硬度高、且具有nc‑TiN、nc‑TiB2纳米复合结构的TiBx涂层。
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公开(公告)号：CN108796453B
公开(公告)日：2020-04-28
申请号：CN201810542941.6
申请日：2018-05-30
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明属于涂层制备技术领域，具体涉及一种高温耐磨的AlCrSiN纳米复合涂层及其制备方法。本发明通过采用脉冲电弧离子镀的方法，在基体表面由下至上依次沉积Cr界面植入层、CrN过渡层和AlCrSiN表面功能层。通过实验证明，通过上述技术方案得到的AlCrSiN纳米复合涂层不仅具有优异的高温稳定性和耐磨性能，还具有表面大颗粒少、内应力低、膜基结合强度高等优点，适用于机械零部件、刀模具等产品表面的防护。
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公开(公告)号：CN111020497A
公开(公告)日：2020-04-17
申请号：CN201911282551.0
申请日：2019-12-13
申请人： 广东工业大学
摘要： 本发明提供了一种周期性多层结构AlTiN/AlCrO涂层，包括：基体；设置于所述基体上的AlTiN过渡层；设置于所述AlTiN过渡层上的AlTiN/AlCrO交替层；设置于所述AlTiN/AlCrO交替层上的顶层AlTiN涂层；所述AlTiN/AlCrO交替层是由AlTiN层与AlCrO层交替沉积得到；所述AlTiN/AlCrO交替层中每一个交替单元的厚度为100～800nm；所述每一个交替单元中AlTiN层与AlCrO层的厚度比为1:1～4:1。本发明通过多层结构、调整涂层成分参数、改变涂层厚度和比例，可实现α或γ相的(Al,Cr)2O3稳定生成；具有硬度高、结合力好、耐磨性优异的特性。
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