发明公开
- 专利标题: 一种TiBx涂层及其制备方法
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申请号: CN202211263098.0申请日: 2022-10-14
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公开(公告)号: CN115896718A公开(公告)日: 2023-04-04
- 发明人: 林奕嵩 , 林亮亮 , 吴正涛 , 魏建清 , 郑爱钦 , 袁中人 , 邹伶俐
- 申请人: 厦门金鹭特种合金有限公司 , 广东工业大学
- 申请人地址: 福建省厦门市湖里区兴隆路69号;
- 专利权人: 厦门金鹭特种合金有限公司,广东工业大学
- 当前专利权人: 厦门金鹭特种合金有限公司,广东工业大学
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市湖里区兴隆路69号;
- 代理机构: 厦门加减专利代理事务所
- 代理商 李强
- 主分类号: C23C14/35
- IPC分类号: C23C14/35 ; C23C14/06 ; C23C14/54
摘要:
本申请属于涂层技术领域,尤其涉及一种TiBx涂层及其制备方法,TiBx涂层的制备方法包括如下步骤:预处理,对基体的表面进行预处理;沉积TiBx涂层,利用高功率脉冲磁控电源产生脉冲宽度在30μs至200μs的脉冲电流来溅射TiB2靶材,从而在基体的表面沉积TiBx涂层。TiBx涂层,采用上述的制备方法制备。本申请提供的一种TiBx涂层及其制备方法,利用高功率脉冲磁控电源来产生脉冲宽度在30μs至200μs之间的脉冲电流来溅射TiB2靶材,TiB2靶材的峰值电流密度增加,Ti+/B+束流比增加,从而降低了TiBx涂层B/Ti原子比,涂层残余应力降低、韧性增强,进而提高涂层的结合力。
IPC分类: