一种TiBx涂层及其制备方法
摘要:
本申请属于涂层技术领域,尤其涉及一种TiBx涂层及其制备方法,TiBx涂层的制备方法包括如下步骤:预处理,对基体的表面进行预处理;沉积TiBx涂层,利用高功率脉冲磁控电源产生脉冲宽度在30μs至200μs的脉冲电流来溅射TiB2靶材,从而在基体的表面沉积TiBx涂层。TiBx涂层,采用上述的制备方法制备。本申请提供的一种TiBx涂层及其制备方法,利用高功率脉冲磁控电源来产生脉冲宽度在30μs至200μs之间的脉冲电流来溅射TiB2靶材,TiB2靶材的峰值电流密度增加,Ti+/B+束流比增加,从而降低了TiBx涂层B/Ti原子比,涂层残余应力降低、韧性增强,进而提高涂层的结合力。
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