公开(公告)号：CN118392017A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410624455.4

申请日：2024-05-20

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  张伟霖 ,  周祖航 ,  卜振翔 ,  李佳音 ,  吴宇宸

IPC: G01B7/02

Abstract: 一种电容位移传感器制造方法，涉及电容位移传感器，涉及一种电容位移传感器。提供与半导体工艺兼容的一种电容位移传感器制造方法。设有探头、绝缘基板、上壳体、下壳体、电缆。所述探头采用半导体工艺制造，探头主体的导电与绝缘部分集成制造，探头正面为三个导电部分和两个绝缘部分相互共面嵌套，作为测量平面；探头背面制备绝缘层，在特定位置嵌有导电材料，与绝缘基板粘接和电学连接。探头通过绝缘基板与下壳体固定连接，电缆穿过上壳体与绝缘基板的导电材料连接；所述绝缘基板与传感器金属上下壳体粘接，其中的导电材料与电缆连接。具有批量制造降低成本、降低装配难度、提高装配同轴度的优点。

公开(公告)号：CN119223511A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202411351307.6

申请日：2024-09-26

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  李佳音 ,  卜振翔 ,  程至印

IPC: G01L13/06 ,  G01L19/00 ,  B81B7/02 ,  B81B7/00

Abstract: 一种面向高静压环境的低静压误差谐振差压传感器，涉及微机电系统。用于在高静压条件下实现低静压误差和高灵敏度比值的差压测量。传感器采用单谐振器结构，通过中间膜的微动驱动，实现对流体压力差的精确捕捉。特别在高静压环境下的静压误差控制，通过上下感压层抵抗静压载荷及主岛夹持中间膜的设计，显著降低静压对测量结果的影响。传感器差压灵敏度与静压误差的比值高，在高静压环境下也能保持优异的测量性能。适用于多种高精度测量场景，尤其是在石油化工、航空航天、环境监测和医疗设备等领域，能为用户提供可靠、精确的差压测量解决方案。通过采用先进的微加工技术，实现小型化和低成本生产，同时保证长期稳定性和重复性。

公开(公告)号：CN109896497A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201910097427.0

申请日：2019-01-31

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王凌云 ,  林志鸿 ,  卜振翔

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 一种面向MEMS封装的纳米玻璃粉回流工艺，涉及一种纳米玻璃粉的回流工艺。硅微腔刻蚀；纳米玻璃粉填充；纳米玻璃粉热熔回流；硅盖帽与MEMS器件基底键合。采用纳米玻璃粉代替块状玻璃进行玻璃回流工艺，能够有效的解决玻璃块与硅需要进行复杂的键合、玻璃回流时间长、易形成晶体、腔体边缘填充不足或内部容易形成空腔无法满足真空度要求等缺点，采用该工艺回流后的玻璃还能够具有商用玻璃的优良特性。此外，该工艺便捷高效，易于推广。